[发明专利]芯片磨料设备有效
| 申请号： | 201810962310.X | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109015278B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 黄晓波 | 申请（专利权）人： | 重庆市嘉凌新科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B41/06 |
| 代理公司： | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人： | 成艳 |
| 地址： | 401326 重庆市九*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片加工领域，尤其涉及芯片磨料设备，包括打磨盘和转动盘，转动盘位于打磨盘的上方，打磨盘上设有若干竖直设置的通孔，若干通孔内均滑动连接有打磨杆，打磨杆的顶端与转动盘之间均连接有压簧，打磨杆的底端为打磨端，相邻的打磨杆之间滑动连接，打磨盘的下方设有用于放置晶圆的支撑机构，转动盘上连接有驱动机构。本方案防止了晶圆在打磨之后形成的打磨面为斜面，利于提高晶圆的打磨质量。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 磨料 设备 | ||
【主权项】：
1.芯片磨料设备，其特征在于：包括打磨盘和转动盘，所述转动盘位于打磨盘的上方，所述打磨盘上设有若干竖直设置的通孔，若干通孔内均滑动连接有打磨杆，所述打磨杆的顶端与转动盘之间均连接有压簧，打磨杆的底端为打磨端，相邻的打磨杆之间滑动连接，所述打磨盘的下方设有用于放置晶圆的支撑机构，所述转动盘上连接有驱动机构。
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