[发明专利]切削装置和槽检测方法

摘要

提供切削装置和槽检测方法，抑制混淆检测激光加工槽和切削槽的情况。切削装置包含：切削单元，其对卡盘工作台(10)所保持的被加工物(200)进行切削；和槽检测单元(90)，其具有对被加工物进行拍摄的CCD拍摄元件(33)。槽检测单元利用CCD拍摄元件对利用斜光照明(31‑2)而进行了照明的激光加工槽(300)和切削槽(400)进行拍摄，根据拍摄图像对光(500)在槽底(301)的凹凸处发生漫反射而较亮地显示的激光加工槽和槽底(401)对光(500)进行正反射而比激光加工槽(300)较暗地显示的切削槽(400)进行检测，该斜光照明(31‑2)被设定成在俯视观察时与激光加工槽的延伸方向平行的方向上的光(500)比与激光加工槽的延伸方向垂直的方向上的光的光量高。

主权项

1.一种切削装置，其沿着利用照射至被加工物的激光束而形成在正面上的激光加工槽，在与该激光加工槽重叠的位置形成切削槽，其中，该切削装置包含：切削单元，其利用安装于主轴的切削刀具对卡盘工作台所保持的被加工物进行切削；以及槽检测单元，其具有对该卡盘工作台所保持的该被加工物进行拍摄的相机，该槽检测单元利用该相机对利用斜光照明而进行了照明的该激光加工槽和与该激光加工槽重叠地形成的该切削槽进行拍摄，根据拍摄图像对光在槽底的凹凸处发生漫反射而较亮地显示的该激光加工槽和槽底对该光进行正反射而比该激光加工槽较暗地显示的该切削槽进行检测，其中，所述斜光照明被设定成在俯视观察时与该激光加工槽的延伸方向平行的方向上的光比与该激光加工槽的延伸方向垂直的方向上的光的光量高。