[发明专利]一种表面有前驱梯度烧结保护C-Si-Al涂层的碳纤维及其制备方法和用途有效
申请号: | 201810917573.9 | 申请日: | 2018-08-13 |
公开(公告)号: | CN109161859B | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 赵雪妮;张伟刚;王瑶;刘庆瑶;郑佳梅;张黎;杨建军;何富珍 | 申请(专利权)人: | 陕西科技大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/58 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710021 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: |
本发明公开了一种表面有前驱梯度烧结保护C‑Si‑Al涂层的碳纤维及其制备方法和用途,首先通过采用磁控溅射法在CF表面设计、构筑一定厚度、形貌的梯度烧结保护前驱C‑Si‑Al涂层。C层作为最内层对CF进行保护,减小溅射过程中CF的受损;Si层作为过渡层可以起到阻隔作用,防止CF和Al层的接触反应生成Al |
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搜索关键词: | 一种 表面 前驱 梯度 烧结 保护 si al 涂层 碳纤维 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】:
1.一种表面有前驱梯度烧结保护C‑Si‑Al涂层的碳纤维的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,去除CF表面的胶;步骤2,启动磁控溅射设备真空系统,并抽真空,直至真空度达到设定值;步骤3,通入氩气并继续抽真空至4×10‑4Pa以下;步骤4,采用多晶碳靶材,利用射频电源,衬底为CF,通过磁控溅射工艺制备具有均匀形貌的最内层C涂层;步骤5,采用多晶硅靶材,射频电流,衬底为含C涂层的CF,通过磁控溅射工艺制备具有均匀形貌的中间层Si涂层;步骤6,利用多晶P型Al靶,直流电流,衬底为含有C‑Si涂层的CF,通过磁控溅射工艺制备具有均匀形貌的最外层Al涂层;步骤7,对CF表面的C‑Si‑Al涂层进行热处理,使得铝涂层中的晶粒进一步融合。
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