[发明专利]柔性显示面板及制造方法有效
| 申请号： | 201810883311.5 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN109065616B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 白思航;王国超;胡俊艳 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/417 | 分类号： | H01L29/417;H01L29/423;H01L27/12;H01L27/32;H01L21/28;H01L21/84 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性显示面板，包括：柔性衬底、阻挡层、缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、栅极金属层、第二栅极绝缘层、第一源漏极金属层、层间绝缘层、第一钝化层、第二源漏极金属层、第二钝化层、阳极金属层、像素隔离层以及像素支撑层；其中，所述第一钝化层上形成有第一通孔以及第二通孔，所述第二源漏极金属层通过所述第一通孔与所述有源层连通，所述第二源漏金属层通过所述第二通孔与所述第一源漏金属层连通。有益效果：本发明所提供的柔性显示面板及制造方法，采用了双层源漏极金属层结构，减少了一层栅极金属层，通过一钝化层使源漏极金属层平坦化，进一步防止层间绝缘层断线，更进一步降低光罩成本以及原料成本。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 显示 面板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括：柔性衬底；阻挡层，位于所述柔性衬底的表面；缓冲层，位于所述阻挡层的表面；有源层，位于所述缓冲层的表面；第一栅极绝缘层，位于所述缓冲层的表面并覆盖所述有源层；栅极金属层，位于所述第一栅极绝缘层的表面；第二栅极绝缘层，位于所述第一栅极绝缘层的表面并覆盖所述栅极金属层；第一源漏极金属层，位于所述第二栅极绝缘层的表面，并且所述第一源漏极金属层的位置与所述栅极金属层的位置对应；层间绝缘层，位于所述第二栅极绝缘层的表面并覆盖所述第一源漏极金属层；第一钝化层，位于所述层间绝缘层的表面；第二源漏极金属层，位于所述第一钝化层的表面；第二钝化层，位于所述第一钝化层的表面并覆盖所述第二源漏极金属层；阳极金属层，位于所述第二钝化层的表面；像素隔离层，位于所述第二钝化层的表面并覆盖所述阳极金属层的边缘两端；像素支撑层，位于所述像素隔离层的表面；其中，所述第一钝化层上形成有第一通孔以及第二通孔，所述第二源漏极金属层通过所述第一通孔与所述有源层连通，所述第二源漏金属层通过所述第二通孔与所述第一源漏金属层连通。
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