[发明专利]柔性显示面板及制造方法有效
申请号: | 201810883311.5 | 申请日: | 2018-08-06 |
公开(公告)号: | CN109065616B | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
发明(设计)人: | 白思航;王国超;胡俊艳 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L29/417 | 分类号: | H01L29/417;H01L29/423;H01L27/12;H01L27/32;H01L21/28;H01L21/84 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 制造 方法 | ||
本发明提供一种柔性显示面板,包括:柔性衬底、阻挡层、缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、栅极金属层、第二栅极绝缘层、第一源漏极金属层、层间绝缘层、第一钝化层、第二源漏极金属层、第二钝化层、阳极金属层、像素隔离层以及像素支撑层;其中,所述第一钝化层上形成有第一通孔以及第二通孔,所述第二源漏极金属层通过所述第一通孔与所述有源层连通,所述第二源漏金属层通过所述第二通孔与所述第一源漏金属层连通。有益效果:本发明所提供的柔性显示面板及制造方法,采用了双层源漏极金属层结构,减少了一层栅极金属层,通过一钝化层使源漏极金属层平坦化,进一步防止层间绝缘层断线,更进一步降低光罩成本以及原料成本。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示面板及制造方法。
背景技术
目前,窄边框甚至无边框屏成为小尺寸手机的主流方向,为了尽可能的增大屏占比,实现手机屏的窄边框甚至无边框化,需要将左右边框以及上下边框区域尽可能缩小,将柔性背板向后弯折的技术就是减小下边框的一种有效方法。缩小边框范围,伴随而来的是减小漏极电源电压信号线以及源极电源电压信号线的宽度,此措施对电学性能方面的主要的影响是增大,导致面板均匀性较差,为了降低压降增大的影响,现有技术的采用双层源漏极金属层结构。然而此结构中引入第二层源漏极金属层的材料与第一层源漏极金属层的材料一致,伴随着无机膜层以及钝化层的导入,需要引入更多的光罩,增加光罩成本的同时,制程时间与材料成本都有所增加,不利于将来的量产化。
综上所述,现有技术的采用双层源漏极金属层结构,由于引入第二层源漏极金属层的材料与第一层源漏极金属层的材料一致,伴随着无机膜层以及钝化层的导入,需要引入更多的光罩,增加光罩成本的同时,制程时间与材料成本都有所增加,不利于将来的量产化的技术性问题。
发明内容
本发明提供一种柔性显示面板及制造方法,能够减少膜层结构,使源漏极金属层平坦化,以解决现有的柔性显示面板,由于由于引入第二层源漏极金属层的材料与第一层源漏极金属层的材料一致,伴随着无机膜层以及钝化层的导入,需要引入更多的光罩,增加光罩成本的同时,制程时间与材料成本都有所增加,不利于将来的量产化的技术性问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种柔性显示面板,包括:
柔性衬底;
阻挡层,位于所述柔性衬底的表面;
缓冲层,位于所述阻挡层的表面;
有源层,位于所述缓冲层的表面;
第一栅极绝缘层,位于所述缓冲层的表面并覆盖所述有源层;
栅极金属层,位于所述第一栅极绝缘层的表面;
第二栅极绝缘层,位于所述第一栅极绝缘层的表面并覆盖所述栅极金属层;
第一源漏极金属层,位于所述第二栅极绝缘层的表面,并且所述第一源漏极金属层的位置与所述栅极金属层的位置对应;
层间绝缘层,位于所述第二栅极绝缘层的表面并覆盖所述第一源漏极金属层;
第一钝化层,位于所述层间绝缘层的表面;
第二源漏极金属层,位于所述第一钝化层的表面;
第二钝化层,位于所述第一钝化层的表面并覆盖所述第二源漏极金属层;
阳极金属层,位于所述第二钝化层的表面;
像素隔离层,位于所述第二钝化层的表面并覆盖所述阳极金属层的边缘两端;
像素支撑层,位于所述像素隔离层的表面;
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