[发明专利]一种工作效率高的石墨烯化学气相反应沉积装置

摘要

本发明涉及一种工作效率高的石墨烯化学气相反应沉积装置，包括基座、控制器、动力机构、炉体、出气管和两个导气机构，导气机构包括储气罐、导气管、导气室和入气管，导气组件包括导气轴、驱动组件、第一锥齿轮、两个扇叶和两个套环，驱动组件包括驱动块、转盘、传动轴、第二锥齿轮、调节框和调节单元，该工作效率高的石墨烯化学气相反应沉积装置通过导气机构控制进入炉体内的反应气体的流量，使反应气体以合适的比例进入炉体内，提高反应效率，不仅如此，信号处理电路具有增益可调的作用，能够满足不同等级的输入信号的采集，提高了信号处理电路的可靠性。

主权项

1.一种工作效率高的石墨烯化学气相反应沉积装置，其特征在于，包括基座（1）、控制器（2）、动力机构、炉体（3）、出气管（4）和两个导气机构，所述控制器（2）和炉体（3）均固定在基座（1）上，所述控制器（2）内设有PLC，所述出气管（4）位于炉体（3）的一侧，所述导气机构和动力机构均位于炉体（3）的另一侧，所述动力机构位于两个导气机构之间，所述导气机构包括储气罐（5）、导气管（6）、导气室（7）和入气管（8），所述储气罐（5）通过导气管（6）与导气室（7）连通，所述导气室（7）通过入气管（8）与炉体（3）连通，所述导气室（7）内设有导气组件，所述出气管（4）上设有排气口，所述出气管（4）内设有信号处理电路；所述导气组件包括导气轴（9）、驱动组件、第一锥齿轮（10）、两个扇叶（11）和两个套环（12），两个套环（12）分别固定在导气室（7）的两侧的内壁上，所述导气轴（9）的两端分别位于两个套环（12）内，两个扇叶（11）分别位于导气轴（9）的两侧，所述第一锥齿轮（10）套设在导气轴（9）上，所述驱动组件与第一锥齿轮（10）传动连接；所述驱动组件包括驱动块（13）、转盘（14）、传动轴（15）、第二锥齿轮（16）、调节框（17）和调节单元，所述转盘（14）抵靠在驱动块（13）上，所述驱动块（13）的形状为圆锥形，所述转盘（14）套设在传动轴（15）上，所述第二锥齿轮（16）固定在传动轴（15）上，所述第二锥齿轮（16）与第一锥齿轮（10）啮合，所述调节框（17）的形状为U形，所述调节框（17）的开口指向转盘（14），所述调节单元与调节框（17）传动连接；所述信号处理电路包括集成电路（U1）、第五电阻（R5）、第六电阻（R6）、第七电阻（R7）、第一电容（C1）、第二电容（C2）和第三电容（C3），所述集成电路（U1）的型号为1B31，所述集成电路（U1）的传感器电源端通过电桥电路接地，所述集成电路（U1）的输入端与电桥电路连接，所述集成电路（U1）的负电源端外接‑15V直流电压电源，所述集成电路（U1）的负电源端分别通过第一电容（C1）和第二电容（C2）接地，所述集成电路（U1）的公共端接地，所述集成电路（U1）的电源端外接15V直流电压电源，所述集成电路（U1）的基准端通过第三电容（C3）接地，所述集成电路（U1）的阀值端通过第五电阻（R5）与集成电路（U1）的333.3倍阀值端连接，所述集成电路（U1）的桥激励输出调节端通过第六电阻（R6）和第七电阻（R7）组成的串联电路与集成电路（U1）的可调端连接。