[发明专利]处理衬底的方法

摘要

处理衬底的方法。本发明涉及一种处理衬底(2)的方法，该衬底具有第一表面(2a)和与第一表面(2a)相反的第二表面(2b)，其中，衬底(2)在第一表面(2a)上具有器件区域(20)，该器件区域具有通过多条分割线(22)分隔开的多个器件(21)。方法包括以下步骤：从第一表面(2a)的一侧向具有100μm或更大的厚度的衬底(2)施加用脉冲激光束(LB)，其中，在脉冲激光束(LB)的焦点(P)被定位成沿从第一表面(2a)朝向第二表面(2b)的方向与第一表面(2a)隔开距离的情况下，脉冲激光束(LB)至少在沿着各个分割线(22)的多个位置被施加于衬底(2)。

主权项

1.一种处理衬底(2)的方法，该衬底具有第一表面(2a)和与所述第一表面(2a)相反的第二表面(2b)，其中，所述衬底(2)在所述第一表面(2a)上具有器件区域(20)，该器件区域具有由多条分割线(22)分隔开的多个器件(21)；所述衬底(2)在从所述第一表面(2a)朝向所述第二表面(2b)的方向上具有100μm或更大的厚度；并且所述方法包括以下步骤：从所述第一表面(2a)的一侧向具有100μm或更大的厚度的所述衬底(2)施加脉冲激光束(LB)，其中，所述衬底(2)由对于所述脉冲激光束(LB)透明的材料制成，并且在所述脉冲激光束(LB)的焦点(P)被定位成沿从所述第一表面(2a)朝向所述第二表面(2b)的方向与所述第一表面(2a)隔开距离处的情况下，所述脉冲激光束(LB)至少在沿着各个所述分割线(22)的多个位置被施加于所述衬底(2)，以便沿着各个所述分割线(22)在所述衬底(2)中形成多个改性区域(23)；以及在所述衬底(2)中形成所述改性区域(23)之后研磨所述衬底(2)的所述第二表面(2b)，以调节衬底厚度。