[发明专利]平面面板显示器制造装置有效
| 申请号： | 201810825295.4 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109819570B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 高桥元喜;永尾友一;立道润一;井内裕 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;H05F3/04;H01L21/265 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及平面面板显示器制造装置。本发明提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合于在高真空下进行玻璃基板的除电的除电装置。本发明的平面面板显示器制造装置具有：处理室，对于玻璃基板施行加工处理；搬送路，形成玻璃基板往处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中，处理室与搬送路处于真空环境下；且在构成搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向真空容器的内侧放出用于进行玻璃基板的除电的电子。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 面板 显示器 制造 装置 | ||
【主权项】：
1.一种平面面板显示器制造装置，具有：处理室，对于玻璃基板施行加工处理；及搬送路，形成玻璃基板往所述处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中所述处理室与所述搬送路处于真空环境下；且在构成所述搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向所述真空容器的内侧放出用于进行所述玻璃基板的除电的电子。
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