[发明专利]平面面板显示器制造装置

说明书

本发明涉及平面面板显示器制造装置。本发明提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合于在高真空下进行玻璃基板的除电的除电装置。本发明的平面面板显示器制造装置具有：处理室，对于玻璃基板施行加工处理；搬送路，形成玻璃基板往处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中，处理室与搬送路处于真空环境下；且在构成搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向真空容器的内侧放出用于进行玻璃基板的除电的电子。

技术领域

本发明涉及一种于在真空下对玻璃基板实施既定的处理的平面面板显示器制造装置中，具备将玻璃基板所带电的电荷进行除电的除电功能的装置。

背景技术

液晶显示器或等离子显示器、有机EL显示器等平面面板显示器的制程是在真空下实施。

以制程的具体例而言，可举例用以导入杂质的离子注入步骤或用以将电路图案予以图案化(patterning)的曝光步骤、用以使薄膜成膜的成膜步骤等。

在各步骤的实施时，为进行使用搬送机器人等的对于处理室搬入搬出玻璃基板，使用基板支持机构进行玻璃基板在处理位置的定位。

在进行玻璃基板的搬送或定位之际，会因为在物体间的摩擦、剥离而使得玻璃基板中带有电荷。若将带有的电荷放置不管，就会发生玻璃基板的附着、静电放电。此外，还会有因为被带电的玻璃基板所吸引的微粒(particle)而造成基板处理不良之虞。

因此，以往会利用等离子将玻璃基板的电荷进行除电。

具体而言，有一种在专利文献1及专利文献2所述的使用离化器(ionizer)的除电方法。在该除电方法中，是对真空排气后的室内充填氮或氩等惰性气体。然后，通过对该气体照射紫外线或在惰性气体的环境内将等离子点亮等，将惰性气体电离而使其等离子化。最后，使玻璃基板暴露于所产生的惰性气体的等离子中，借此进行玻璃基板所带电的电荷的除电。

(现有技术文献)

(专利文献)

专利文献1：日本特开2004–241420

专利文献2：日本特开平9–324260。

发明内容

(发明所欲解决的课题)

在专利文献1及专利文献2所述的手法中，必须在除电之际先将惰性气体充填于室内，故不适合在高真空下使用。

本发明中，为提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合于在高真空下进行玻璃基板的除电的除电装置。

(用以解决课题的手段)

一种平面面板显示器制造装置，具有：

处理室，对于玻璃基板施行加工处理；及

搬送路，形成玻璃基板往所述处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中

所述处理室与所述搬送路处于真空环境下；且

在构成所述搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向所述真空容器的内侧放出用于进行所述玻璃基板的除电的电子。

若使带有负电的玻璃基板也成为除电对象，则较优选为：

所述除电装置具有通过将被导入的气体进行电离而于室内产生等离子的等离子室，并从该等离子室内放出用以进行所述玻璃基板的除电的等离子。

为了改善被导入于等离子室内的气体的利用效率，则较优选为：

所述除电装置具有用以将等离子从所述等离子室往所述搬送路输送的等离子输送路，并且，在与等离子的输送方向垂直的切断面中，所述等离子输送路的切断面比所述等离子室的切断面小。