[发明专利]TFT阵列基板测试装置及测试方法在审
| 申请号： | 201810821040.0 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN109003567A | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 郑亚兰 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G09G3/00 | 分类号： | G09G3/00 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;鞠骁 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种TFT阵列基板测试装置及TFT阵列基板测试方法。该TFT阵列基板测试装置包括载台、测试模块以及驱动模块，测试模块包括探头、连接部、探测卡、图像获取模块以及架体，图像获取模块包括光源，测试时将TFT阵列基板放置在载台上使TFT阵列基板上的测试组件朝上，而后驱动模块驱动架体移动带动探头、连接部、探测卡及图像获取模块移动，使探测卡与测试组件接触，图像获取模块利用其光源对测试组件进行光照，探测卡侦测流过测试组件的电流，从而能够实现对TFT阵列基板上不同位置的测试组件进行光生载流子干扰检测，装置成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 测试组件 图像获取模块 探测卡 测试装置 测试模块 驱动模块 测试 探头 光源 光生载流子 干扰检测 装置成本 驱动架 移动 朝上 架体 载台 侦测 光照 | ||
【主权项】：
1.一种TFT阵列基板测试装置，其特征在于，包括载台(10)、设于载台(10)上方的测试模块(20)以及与测试模块(20)连接的驱动模块(30)；所述测试模块(20)包括设于载台(10)上方的竖直的探头(21)、设于探头(21)一侧的连接部(22)、设于连接部(22)远离探头(21)一侧的探测卡(23)、设于载台(10)上方的图像获取模块(24)以及连接探头(21)及图像获取模块(24)的架体(25)，所述架体(25)与驱动模块(30)连接；所述图像获取模块(24)位于探测卡(23)上方；所述图像获取模块(24)包括与架体(25)连接的镜头(241)以及设于镜头(241)靠近载台(10)一端的光源(242)；所述载台(10)用于放置TFT阵列基板(90)；所述TFT阵列基板(90)的一侧设有测试组件(91)，将TFT阵列基板(90)放置在载台(10)上之后，TFT阵列基板(90)设有测试组件(91)的一侧朝上；所述驱动模块(30)用于驱动架体(25)移动带动探头(21)、连接部(22)、探测卡(23)及图像获取模块(24)移动，使所述使探测卡(23)与测试组件(91)接触从而使探测卡(23)与测试组件(91)电性连接；所述图像获取模块(24)用于利用其光源(242)对测试组件(91)进行光照；所述探测卡(23)用于在与测试组件(91)电性连接后侦测流过测试组件(91)的电流。
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