[发明专利]TFT阵列基板测试装置及测试方法

说明书

本发明提供一种TFT阵列基板测试装置及TFT阵列基板测试方法。该TFT阵列基板测试装置包括载台、测试模块以及驱动模块，测试模块包括探头、连接部、探测卡、图像获取模块以及架体，图像获取模块包括光源，测试时将TFT阵列基板放置在载台上使TFT阵列基板上的测试组件朝上，而后驱动模块驱动架体移动带动探头、连接部、探测卡及图像获取模块移动，使探测卡与测试组件接触，图像获取模块利用其光源对测试组件进行光照，探测卡侦测流过测试组件的电流，从而能够实现对TFT阵列基板上不同位置的测试组件进行光生载流子干扰检测，装置成本较低。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种TFT阵列基板测试装置及测试方法。

背景技术

随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)与有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。

现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(ThinFilm Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)与彩色滤光片基板(ColorFilter，CF)之间灌入液晶分子，并在两片基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线折射出来产生画面。

液晶显示器在工作时，由于背光模组会向液晶显示面板发射背光，背光照射到TFT阵列基板中的TFT器件会使TFT器件产生光生载流子，影响TFT器件的开关漏电性能，因而现有技术在制作TFT阵列基板时，会设置检测TFT基板中TFT器件开关特性的项目，在进行此项测试时，需要设置背光源来照射TFT器件以产生光生载流子来模拟真实的TFT器件工作环境。目前一般会在已有的面板性能测试机(TEG)内部设置背光源来实现光生载流子环境，并在TFT阵列基板上设置若干测试组件，测试组件一般设置在TFT阵列基板的显示区外侧，且测试组件与TFT阵列基板的各个像素中的开关TFT器件同时制作形成，其光生载流子特性与TFT阵列基板的各个像素中的开关TFT器件的光生载流子特性一致，因此对测试组件进行光生载流子干扰检测即可以获取TFT阵列基板的各个像素中的开关TFT器件的光生载流子特性。进行光生载流子干扰检测时，将测试组件设置在背光源上方，对测试组件进行侦测，从而获得测试组件光生载流子的产生情况以反映各个像素中开关TFT器件的光生载流子特性。但此种设计中，安装背光源成本较高，同时，背光源无法灵活移动，容易产生TFT阵列基板上某些位置的测试组件并不位于背光源上方的问题，无法有效实现光生载流子工作环境，并且由于不同型号的TFT阵列基板上测试组件的分布差异较大，因此固定的背光源无法满足不同的TFT阵列基板的测试需求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种TFT阵列基板测试装置，能够对TFT阵列基板上不同位置的测试组件进行光生载流子干扰检测，装置成本较低。

本发明的另一目的在于提供一种TFT阵列基板测试方法，能够对TFT阵列基板上不同位置的测试组件进行光生载流子干扰检测，且操作简单。

为实现上述目的，本发明首先提供一种TFT阵列基板测试装置，包括载台、设于载台上方的测试模块以及与测试模块连接的驱动模块；

所述测试模块包括设于载台上方的竖直的探头、设于探头一侧的连接部、设于连接部远离探头一侧的探测卡、设于载台上方的图像获取模块以及连接探头及图像获取模块的架体，所述架体与驱动模块连接；

所述图像获取模块位于探测卡上方；所述图像获取模块包括与架体连接的镜头以及设于镜头靠近载台一端的光源；