[发明专利]TFT阵列基板测试装置及测试方法

权利要求书

1.一种TFT阵列基板测试装置，其特征在于，包括载台(10)、设于载台(10)上方的测试模块(20)以及与测试模块(20)连接的驱动模块(30)；

所述测试模块(20)包括设于载台(10)上方的竖直的探头(21)、设于探头(21)一侧的连接部(22)、设于连接部(22)远离探头(21)一侧的探测卡(23)、设于载台(10)上方的图像获取模块(24)以及连接探头(21)及图像获取模块(24)的架体(25)，所述架体(25)与驱动模块(30)连接；

所述图像获取模块(24)位于探测卡(23)上方；所述图像获取模块(24)包括与架体(25)连接的镜头(241)以及设于镜头(241)靠近载台(10)一端的光源(242)；

所述载台(10)用于放置TFT阵列基板(90)；所述TFT阵列基板(90)的一侧设有测试组件(91)，将TFT阵列基板(90)放置在载台(10)上之后，TFT阵列基板(90)设有测试组件(91)的一侧朝上；

所述驱动模块(30)用于驱动架体(25)移动带动探头(21)、连接部(22)、探测卡(23)及图像获取模块(24)移动，使所述使探测卡(23)与测试组件(91)接触从而使探测卡(23)与测试组件(91)电性连接；

所述图像获取模块(24)用于利用其光源(242)对测试组件(91)进行光照；

所述探测卡(23)用于在与测试组件(91)电性连接后侦测流过测试组件(91)的电流。

2.如权利要求1所述的TFT阵列基板测试装置，其特征在于，所述探测卡(23)包括设于连接部(22)远离探头(21)一侧的本体(231)以及设于本体(231)远离探头(21)的端部并向靠近载台(10)的方向延伸的探针(232)。

3.如权利要求2所述的TFT阵列基板测试装置，其特征在于，所述本体(231)平行于水平面。

4.如权利要求2所述的TFT阵列基板测试装置，其特征在于，所述图像获取模块(24)位于探针(232)上方。

5.如权利要求1所述的TFT阵列基板测试装置，其特征在于，所述光源(242)为环状光源。

6.如权利要求1所述的TFT阵列基板测试装置，其特征在于，所述图像获取模块(24)为CCD相机；所述镜头(241)为CCD镜头。

7.如权利要求1所述的TFT阵列基板测试装置，其特征在于，所述载台(10)包括台体(11)及设于台体(11)下方的支座(12)；所述测试模块(20)位于台体(11)上方。

8.如权利要求1所述的TFT阵列基板测试装置，其特征在于，所述架体(25)设于探头(21)及图像获取模块(24)上方。

9.一种TFT阵列基板测试方法，应用于如权利要求1-8任一项所述的TFT阵列基板测试装置，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1、提供TFT阵列基板(90)；所述TFT阵列基板(90)的一侧设有测试组件(91)；将TFT阵列基板(90)放置于载台(10)上，使TFT阵列基板(90)设有测试组件(91)的一侧朝上；

步骤S2、驱动模块(30)驱动架体(25)移动带动探头(21)、连接部(22)、探测卡(23)及图像获取模块(24)移动，使探测卡(23)与测试组件(91)接触从而使探测卡(23)与测试组件(91)电性连接；

步骤S3、图像获取模块(24)利用其光源(242)对测试组件(91)进行光照；

步骤S4、探测卡(23)侦测流过测试组件(91)的电流。

10.如权利要求9所述的TFT阵列基板测试方法，其特征在于，所述步骤S2中，驱动模块(30)驱动架体(25)移动带动探头(21)、连接部(22)、探测卡(23)及图像获取模块(24)移动，使探测卡(23)的探针(232)与测试组件(91)接触从而使探测卡(23)与测试组件(91)电性连接。