[发明专利]粉尘抽吸装置在审
| 申请号： | 201810810548.0 | 申请日： | 2018-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN109318285A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 上野勉;高松生芳;西尾仁孝 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业株式会社 |
| 主分类号： | B26D7/18 | 分类号： | B26D7/18;B26F1/38;B25H7/04 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够有效地抽吸去除在基板表面附着的粉尘等微小异物而获得高品质的产品的粉尘抽吸装置。所述粉尘抽吸装置具有：空气抽吸口(9b)，其以与加工的基板(W)对置的方式配置，并抽吸基板(W)表面的粉尘；空气喷射口(9c)，其防止基板(W)表面与空气抽吸口(9b)紧贴，所述粉尘抽吸装置采用以能够沿基板(W)的表面相对地移动的方式形成的结构，防止基板(W)紧贴于空气抽吸口(9b)并可靠地保持基板(W)与空气抽吸口(9b)之间的间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 粉尘 空气抽吸口 抽吸装置 抽吸 紧贴 空气喷射口 表面相对 方式配置 基板表面 微小异物 高品质 有效地 对置 附着 去除 移动 加工 | ||
【主权项】：
1.一种粉尘抽吸装置，具有：空气抽吸口，其以与加工的基板对置的方式配置，并抽吸基板表面的粉尘；空气喷射口，其防止所述基板表面与所述空气抽吸口紧贴，所述粉尘抽吸装置形成为能够沿所述基板的表面相对地移动。
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