[发明专利]一种硅片分片装置

摘要

本申请公开了一种硅片分片装置，包括一分片箱，该分片箱上设有：出口部，该出口部设置在分片箱的一侧，出口部下端设置有出口；开口，该开口设置在分片箱的底部；滑槽，该滑槽设置在分片箱的内侧壁上，滑槽绕所述分片箱的内侧壁一周，滑槽连通出口部与开口；吸盘组件，该吸盘组件安装在滑槽内，吸盘组件在滑槽内移动。本申请通过吸盘组件吸附硅片堆最上层的硅片，然后吸盘组件携带硅片在滑槽内移动，将硅片从开口处运送至出口部，并通过出口进硅片运送出分片箱，实现硅片的分片，整个装置结构简单，不会出现硅片破损的情况，代替了现有的人工分片和结构复杂的机械手，节约生产成本。

主权项

1.一种硅片分片装置，包括一分片箱(10)，所述分片箱(10)上设有：出口部(102)，所述出口部(102)设置在所述分片箱(10)的一侧，所述出口部(102)下端设置有出口(1021)；开口(105)，所述开口(105)设置在所述分片箱(10)的底部；滑槽(20)，所述滑槽(20)设置在所述分片箱(10)的内侧壁上，所述滑槽(20)绕所述分片箱(10)的内侧壁一周，所述滑槽(20)连通所述出口部(102)与所述开口(105)；吸盘组件(30)，所述吸盘组件(30)安装在所述滑槽(20)内，所述吸盘组件(30)在所述滑槽(20)内移动。