[发明专利]过渡态氧化镍铬膜层的制备方法及包含该过渡态氧化镍铬膜层的可钢化低辐射镀膜玻璃有效
| 申请号： | 201810794815.X | 申请日： | 2018-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN109136870B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 唐晶;梁干;武瑞军 | 申请（专利权）人： | 吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C03C17/36 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;都春燕 |
| 地址： | 215222 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明涉及玻璃生产技术领域，具体涉及过渡态氧化镍铬膜层的制备方法及包含该过渡态氧化镍铬膜层的可钢化低辐射镀膜玻璃，本发明的制备方法包括如下步骤：采用NiCr合金靶材，在直流电源或直流脉冲电源的控制下，保持磁控溅射镀膜设备的背景本底真空度优于5×10 |
||
| 搜索关键词： | 过渡 氧化 镍铬膜层 制备 方法 包含 可钢化低 辐射 镀膜 玻璃 | ||
【主权项】：
1.一种过渡态氧化镍铬膜层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：采用NiCr合金靶材，在直流电源或直流脉冲电源的控制下，保持磁控溅射镀膜设备的背景本底真空度优于5×10‑4Pa，在工艺气氛点采用反应式溅射的方式在上一膜层的表面顺次进行沉积，所述的工艺气氛点对应为氩氧氛围，且通入的氩气和氧气的流量比为8/1‑12/1，即得过渡态氧化镍铬膜层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司，未经吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810794815.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
