[发明专利]一种含酸性气体、粉尘颗粒的废气净化装置

摘要

本发明公开了一种含酸性气体、粉尘颗粒的废气净化装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括增压气泵、前端水洗室、反应腔、后端水洗室、冷却塔和废水净水箱，增压气泵的进气端和外接设备的废气出口连接，增压气泵的出气端和前端水洗室连接，废气进入前端水洗室后，去除了废气中的酸性气体和粉尘颗粒，剩下的废气进入反应室中反应，将废气中的有机物反应掉，接着，反应后的高温气体再经过后端水洗室和冷却塔的水洗喷淋和冷却降温，达到排放标准后从出气口排出，整个装置结构合理，实用性强。

主权项

1.一种含酸性气体、粉尘颗粒的废气净化装置，其特征在于：包括增压气泵(1)、前端水洗室(2)、反应腔(4)、后端水洗室(6)、冷却塔(7)和废水净水箱(9)，所述增压气泵(1)的进气端和外接设备的废气出口(101)连接，所述增压气泵(1)的出气端和前端水洗室(2)连接，所述前端水洗室(2)包括前端水洗腔(201)和进气法兰(202)，所述进气法兰(202)贯穿前端水洗腔(201)的顶部左侧并和前端水洗腔(201)焊接在一起，所述进气法兰(202)的下端连接有出气罩(206)，所述出气罩(206)上均布设有出气孔并浸没于前端水洗腔(201)内的水下，所述前端水洗腔(201)的顶部右侧焊接有出气法兰一(203)，所述出气法兰一(203)通过连接管道一(3)和反应室(4)相连，所述前端水洗腔(201)的右端焊接有喷水法兰一(204)，所述喷水法兰一(204)内设有喷头一(210)并位于出气法兰一(203)的正下方，所述前端水洗腔(201)的底部焊接有排水法兰一(205)；所述反应室(4)包括反应腔(401)、主进气法兰(402)、辅进气法兰(403)和辅进料法兰(404)、出气法兰二(405)，所述主进气法兰(402)和辅进气法兰(403)分别焊接在反应腔(401)的顶部中间和顶部两边，所述辅进料法兰(404)焊接在反应腔(401)的中部，所述出气法兰二(405)焊接在反应腔(401)的底部并通过连接管道二(5)和后端水洗室(6)相连；所述后端水洗室(6)包括后端水洗腔(601)和喷头法兰二(602)，所述喷头法兰二(602)对称设于后端水洗腔(601)的两侧并内设有喷头二(603)，所述后端水洗腔(601)的顶部左侧设有进气端并和连接管道二(5)相连，顶部右边设有出气端并和冷却塔(7)相连，所述后端水洗腔(601)的底部设有排水法兰二(604)；所述冷却塔(7)的内部均布设有冷却板(701)，所述冷却塔(7)的外部中间和上部分别焊接有喷水法兰三(702)和喷水法兰四(704)，所述喷水法兰三(702)和喷水法兰四(704)内设有喷头三(703)和喷头四(705)，所述冷却塔(7)的顶部水平设有出气口(707)；所述废水净水箱(9)包括箱体(901)和进水法兰一(902)和进水法兰二(903)，所述进水法兰一(902)和进水法兰二(903)焊接在箱体(901)的顶部左边，所述进水法兰一(902)通过连接管道四(10)和排水法兰一(205)相连，所述进水法兰二(903)通过连接管道三(8)和排水法兰二(604)相连，所述箱体(901)的内部中间设有过滤板(906)并通过固定架二(905)竖直固定在箱体(901)的内部，所述箱体(901)的右侧下部设有出水法兰(904)。