[发明专利]一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置

摘要

本发明公开了一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括前端和后端水洗装置、第一和第二反应腔、冷却塔和废水箱，前端水洗装置和第一反应腔通过连接管道一连接，第一反应腔和第二反应腔通过连接管道二连接，第二反应腔和后端水洗装置的进气端连接，冷却塔和后端水洗装置的出气端连接，前端和后端水洗装置通过连接软管分别和废水箱连接。废气中含有的粉尘和酸性气体经过前端水洗装置后，与水结合掉落到装置底部并顺着水流冲洗到废水箱中，接着废气中的有机物进入第一和第二反应腔充分反应，再经过后端水洗装置和冷却塔的水洗喷淋和冷却降温后，达到排放标准后从出气口排出。

主权项

1.一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置，其特征在于：包括前端水洗装置(1)、第一反应腔(2)、第二反应腔(3)、后端水洗装置(4)、冷却塔(5)和废水箱(11)，所述前端水洗装置(1)包括前端水洗腔体(101)和安装在前端水洗腔体(101)上的进气法兰(102)、出气法兰(103)和出水法兰一(104)，所述进气法兰(102)和出气法兰(103)分别竖直焊接在前端水洗腔体(101)的顶部左侧和右侧，所述出水法兰一(104)竖直焊接在前端水洗腔体(101)的底部并通过连接软管一(9)和废水箱(11)连接，所述前端水洗腔体(101)的左侧上部和下部分别水平焊接有喷头法兰一(106)和喷头法兰二(107)，所述前端水洗腔体(101)的右侧下部水平焊接有喷头法兰三(108)，所述喷头法兰一(106)、喷头法兰二(107)和喷头法兰三(108)内均设有喷头一(105)；所述第一反应腔(2)包括反应腔一(21)和主进气法兰一(22)，所述主进气法兰一(22)设于反应腔一(21)的顶部中间，所述出气法兰一(103)通过连接管道一(6)和主进气法兰一(22)连接并且连接管道一(6)上设有控制阀(7)，所述反应腔一(21)的底部设有出气法兰二(25)，所述第二反应腔(3)包括反应腔二(31)和主进气法兰二(32)，所述主进气法兰二(32)设于反应腔二(31)的顶部中间，所述出气法兰二(25)和主进气法兰二(32)通过连接管道二(8)连接在一起，所述反应腔二(31)的底部和后端水洗装置(4)连接，所述后端水洗装置(4)包括后端水洗腔体(41)和设于水洗腔体(41)内的喷头二(42)，所述喷头二(42)对称设于后端水洗腔体(41)的左右两侧，所述后端水洗腔体(41)的顶部左边设有进气端，顶部右边设有出气端，后端水洗腔体(41)的进气端和反应腔二(31)的底部直接连接，后端水洗腔体(41)的出气端和冷却塔(5)的底部直接连接，所述后端水洗腔体(41)的底部设有出水法兰二(43)并通过连接软管二(10)和废水箱(11)连接，所述冷却塔(5)内部均布设有冷却板(51)，所述冷却板(51)的材质为多孔的氧化铝陶瓷,所述冷却塔(5)内部的中间和上部分别设有喷头三(52)和喷头四(53)，所述冷却塔(7)的顶部水平设有出气口(55)。