[发明专利]单体双金属板封装结构及其封装方法有效

专利信息
申请号: 201810771629.4 申请日: 2018-07-13
公开(公告)号: CN108899286B 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 王亚琴;梁志忠;刘恺 申请(专利权)人: 江苏长电科技股份有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/552;H01L23/31
代理公司: 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 代理人: 苏婷婷
地址: 214431 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明揭示了一种单体双金属板封装结构及封装方法,单体双金属板封装结构包括:线路层;电性连接于线路层上方且与线路层形成至少一个空腔的第一EMI层;连接于阻焊层并契合第一EMI层外壁面设置的上金属板;契合上金属板外壁面设置的第二EMI层;设置于空腔外,且叠加设置于线路层下方的阻焊层,阻焊层设置有若干个开窗区域;开设于单体双金属板封装结构外围并连通空腔内部的注塑孔;位于空腔内的芯片;植入阻焊层的开窗区域以连通线路层的焊球,以及填充空腔和注塑孔的注塑料。本发明通过采用双金属板进行封装来实现EMI屏蔽,而且其无需使用传统的具有型腔模具进行塑封封装,节约制造成本。
搜索关键词: 单体 双金属 封装 结构 及其 方法
【主权项】:
1.一种单体双金属板封装结构的封装方法,其特征在于,所述方法包括:S1、提供上金属板和下金属板;S2、在上金属板的下表面上蚀刻形成至少一个凹槽,并在每一所述凹槽内壁上电镀至少一层第一EMI层以形成顶板;每个单体双金属板封装结构对应至少一个凹槽;在下金属板的上表面依次电镀阻焊层和线路层,并在所述线路层远离所述下金属板的一侧叠装芯片以形成底板;S3、结合顶板和底板以在所述阻焊层和第一EMI层之间形成空腔,使所述第一EMI层与所述线路层导通,使所述芯片设置于所述空腔内;S4、向所述空腔内注入注塑料以进行注塑包封形成封装体;S5、切割封装体未包含下金属板部分,以在下金属板上方形成若干个不相接的半成型单体;S6、分别在每一个半成型单体所对应的上金属板外侧叠加第二EMI层,所述第二EMI层和所述第一EMI层不相接,并在每个第二EMI层远离所述下金属板的同侧叠同时叠加一块连接金属板;S7、剥离所述下金属板;S8、在阻焊层上开窗以曝露线路层,在其开窗区域植入焊球,去除连接金属板,以直接形成若干个单体双金属板封装结构。
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