[发明专利]可自动上下料的芯片烧录机有效
申请号: | 201810766978.7 | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN110718490B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 桂义勇;曹杰 | 申请(专利权)人: | 苏州永测电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 王健 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种可自动上下料的芯片烧录机,包括基板、X轴驱动机构、Y轴驱动机构、吸料机构和烧录机构,所述Y轴驱动机构设置于基板上表面,所述X轴驱动机构通过若干XY连接块与Y轴驱动机构安装连接并可以在Y轴方向上往复运动,还具有一限位支架,所述限位支架固定安装于安装板前侧面下部,所述若干吸杆分别穿过此限位支架,所述吸杆与限位支架的上板之间通过一主动花键连接,所述吸杆与转角安装板的安装部之间通过一从动花键连接,所述主动花键与从动花键均包括圆柱外壳和至少2排竖直设置于圆柱外壳内壁的滚珠。本发明实现了芯片烧录过程中的芯片上料、烧录、下料的全过程自动化操作,且精度高、可循环作业,提高了芯片烧录的精度、效率和自动化程度。 | ||
搜索关键词: | 自动 上下 芯片 烧录机 | ||
【主权项】:
1.一种可自动上下料的芯片烧录机,其特征在于:包括基板(1)、X轴驱动机构(2)、Y轴驱动机构(3)、吸料机构(4)和烧录机构(5),所述Y轴驱动机构(3)设置于基板(1)上表面,所述X轴驱动机构(2)通过若干XY连接块(9)与Y轴驱动机构(3)安装连接并可以在Y轴方向上往复运动,所述吸料机构(4)通过XZ连接块(10)活动安装于X轴驱动机构(2)上并可以沿X轴方向往复运动,所述烧录机构(5)安装于基板(1)上并位于吸料机构(4)下方;/n所述Y轴驱动机构(3)进一步包括Y轴电机(301)、与Y轴电机(301)连接的Y轴丝杆(302)、至少一个Y轴滑轨(303)和活动安装于Y轴滑轨(303)上的若干Y轴滑块(304),所述X轴驱动机构(2)通过若干XY连接块(9)与Y轴滑块(304)固定连接,所述Y轴丝杆(302)上套装有一Y轴螺母(305),此Y轴螺母(305)通过一Y轴锁块(306)与X轴驱动机构(2)固定连接;/n所述X轴驱动机构(2)进一步包括X轴电机(201)、与X轴电机(201)连接的X轴丝杆(202)、X轴安装板(205)、若干X轴滑轨(203)和活动安装于X轴滑轨(203)上的若干X轴滑块(204),此X轴滑块(204)与XZ连接块(10)安装连接,所述X轴丝杆(202)通过至少两个X轴承座(206)安装于X轴安装板(205)上,所述X轴丝杆(202)安装于X轴安装板(205)上并与X轴丝杆(202)平行设置,所述X轴丝杆(202)上套装有X轴螺母(207),此X轴螺母(207)通过一X轴锁块(208)与XZ连接块(10)安装连接;/n所述Y轴驱动机构(3)的Y轴丝杆(302)两端分别设置有一第一传感器(11),所述X轴驱动机构(2)的X轴安装板(205)下表面设置有与第一传感器(11)对应的第一挡片,所述X轴驱动机构(2)的X轴安装板(205)两端分别安装有一第二传感器(13),所述吸料机构(4)下表面设置有与第二传感器(13)对应的第二挡片;/n所述吸料机构(4)进一步包括与XZ连接块(10)安装固定的安装板(401)、若干第一电机(402)和若干吸杆(403),所述若干第一电机(402)分别安装于一电机固定板(404)上,此电机固定板(404)安装于安装板(401)后表面上部,所述第一电机(402)的输出轴分别穿过电机固定板(404)且第一电机(402)的输出轴末端分别安装有第一驱动轮(405),此第一驱动轮(405)下方分别安装有一第一从动轮(406),所述第一驱动轮(405)与第一从动轮(406)之间连接有第一皮带(407),所述若干吸杆(403)分别通过一转角安装板(408)与第一皮带(407)安装固定;/n所述转角安装板(408)进一步包括两两垂直设置的锁接部(409)、连接部(410)和安装部(411),所述连接部(410)的一侧与锁接部(409)连接,所述连接部(410)的下部与安装部(411)连接,所述锁接部(409)穿过安装板(401)并与第一皮带(407)的一侧表面接触,并与设置于第一皮带(407)另一侧的齿形块(412)锁紧固定,所述安装板(401)前表面安装有与转角安装板(408)对应的滑轨(413),所述连接部(410)与安装板(401)平行设置且连接部(410)靠近安装板(401)的一侧表面开有供滑轨(413)嵌入的滑槽,所述安装部(411)上开有一通孔(414),所述吸杆(403)穿过通孔(414)并与安装部(411)安装连接;/n所述安装板(401)下部安装有一电机支架(415),此电机支架(415)上设置有若干与吸杆(403)对应的第二电机(416),此第二电机(416)的旋转轴上分别连接有一第二驱动轮(417),所述吸杆(403)下部套装有与第二驱动轮(417)对应的第二从动轮(418),所述第二驱动轮(417)和第二从动轮(418)通过一第二皮带(419)传动连接;/n还具有一限位支架(420),所述限位支架(420)固定安装于安装板(401)前侧面下部,所述若干吸杆(403)分别穿过此限位支架(420),所述吸杆(403)与限位支架(420)的上板之间通过一主动花键(421)连接,所述吸杆(403)与转角安装板(408)的安装部(411)之间通过一从动花键(422)连接,所述主动花键(421)与从动花键(422)均包括圆柱外壳(15)和至少2排竖直设置于圆柱外壳(15)内壁的滚珠(16),所述吸杆(403)上开有供滚珠(16)嵌入的凹槽,所述滚珠(16)一面嵌入圆柱外壳(15)内壁,另一面嵌入吸杆(403)的凹槽内;/n所述烧录机构(5)进一步包括支撑板(501)、底板(502)、若干压板(503)、若干烧录座(504)和若干与压板(503)对应的气缸(505),所述支撑板(501)安装于基板(1)上,所述底板(502)位于基板(1)下方,所述支撑板(501)与底板(502)之间通过至少2根支撑柱(506)连接,所述压板(503)位于烧录座(504)上方;/n所述气缸(505)设置于底板(502)上表面,所述气缸(505)的活塞杆上分别连接有一活动板(509),此活动板(509)的四个拐角处分别设置有一拉杆(507),所述支撑板(501)下方设置有若干轴承座(508),所述拉杆(507)上端分别穿过轴承座(508)和支撑板(501)并与压板(503)固定连接;/n还具有一校准机构(6),此校准机构(6)进一步包括上相机(601)和下相机(602),所述上相机(601)安装于吸料机构(4)上,所述下相机(602)安装于基板(1)上并与上相机(601)面对面设置。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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