[发明专利]一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备及其控制方法

摘要

本发明涉及一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备及其控制方法，其中，真空蒸镀设备包括第一蒸镀腔、设置于第一蒸镀腔内的第一蒸发源以及基板，还包括气压传感器、单片机、驱动电机及设置在基板下方且覆盖基板的蒸镀面的管阵，管阵由若干导向管组成，气压传感器与导向管的数量相同，导向管包括固定管以及套设在固定管内部的活动管，固定管内设置有用于控制活动管沿着导向管的轴向水平移动的控制装置，气压传感器设置在固定管的开口处且与单片机连接，单片机与驱动电机连接，驱动电机与控制装置连接；本发明使原材料均匀在基板上镀膜，并且避免原材料蒸镀到蒸镀腔壁，提高原材料利用率。

主权项

1.一种真空蒸镀设备的控制方法，所述真空蒸镀设备包括第一蒸镀腔（1）、设置于所述第一蒸镀腔（1）内的第一蒸发源（11）以及基板（12）；还包括气压传感器（13）、单片机（14）、驱动电机（15）以及设置在所述基板（12）下方且覆盖所述基板（12）的蒸镀面的管阵，所述管阵由若干导向管（16）组成，所述气压传感器（13）与所述导向管（16）的数量相同，所述导向管（16）包括固定管（161）以及套设在所述固定管（161）内部的活动管（162），所述固定管（161）内设置有用于控制所述活动管（162）沿着所述导向管（16）的轴向水平移动的控制装置（17），所述气压传感器（13）设置在所述固定管（161）的开口处且与所述单片机（14）连接，所述单片机（14）与所述驱动电机（15）连接，所述驱动电机（15）与所述控制装置（17）连接，其特征在于，所述方法包括以下步骤：设置在各导向管（16）内的气压传感器（13）将各自检测出的气压值传输给单片机（14）；单片机（14）执行操作：以两个导向管（16）为一组，对每组相邻的导向管（16）内的气压传感器（13）输出的气压值进行计算，具体为，首先将相邻的气压值代入公式L=（P1‑P2）·d1进行计算，其中，P1是较大的气压值，P2是较小的气压值，d1是在所述第一蒸镀腔（1）内消耗1Pa的蒸气所需移动的距离，L是待移动距离，具体为较小气压值的气压传感器（13）所处导向管（16）内的活动管（162）需要移动的距离；然后将计算得出的L传输给驱动电机（15），并向驱动电机（15）输出提供较小气压值的气压传感器（13）所处导向管（16）内的控制装置（17）进行驱动所对应的控制信号；驱动电机（15）向提供较小气压值的气压传感器（13）所处导向管（16）内的控制装置（17）输出驱动力，以使所述控制装置（17）控制所处导向管（16）内的活动管（162）沿着所述导向管（16）的轴向水平向前移动L的距离。