[发明专利]Micro-LED巨量转移方法、显示装置及制作方法有效

专利信息
申请号: 201810743952.0 申请日: 2018-07-09
公开(公告)号: CN108807265B 公开(公告)日: 2020-01-31
发明(设计)人: 林志伟;邓群雄;陈凯轩;柯志杰;卓祥景 申请(专利权)人: 厦门乾照光电股份有限公司
主分类号: H01L21/77 分类号: H01L21/77
代理公司: 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 李婷婷;王宝筠
地址: 361100 福建省厦门市火炬*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 本申请公开一种Micro‑LED巨量转移方法、Micro‑LED显示装置及其制作方法,所述Micro‑LED巨量转移方法,通过将阵列上的LED芯片分为两部分,且LED芯片包括相对设置的第一表面和第二表面,其中一部分的第一表面与第一转移基板结合,另一部分的第二表面与第二转移基板结合,将第一部分的LED转移至第一转移基板上,第二部分的LED转移至第二转移基板上。即通过将两个表面分别结合至两个转移基板上,然后通过一次分离,使得Micro‑LED实现巨量转移,无需剥离等复杂工艺,且LED芯片为已经制作完成的LED芯片,无需在巨量转移之后再进行芯片工艺,从而相对于现有技术而言,更加简单,而且成本较低。
搜索关键词: 转移基板 第二表面 第一表面 制作 复杂工艺 显示装置 相对设置 芯片工艺 一次分离 剥离 申请
【主权项】:
1.一种Micro-LED巨量转移方法,其特征在于,包括:/n提供Micro-LED阵列,所述Micro-LED阵列包括基底和位于所述基底表面的多个呈阵列排布的LED芯片,多个所述LED芯片包括相对设置的第一表面和第二表面,所述第二表面位于所述基底表面,多个所述LED芯片分为第一部分和第二部分;/n提供临时载板、第一转移基板和第二转移基板;/n将所述基底背离所述LED芯片的表面与所述临时载板结合;/n将所述第一部分的LED芯片的第一表面与所述第一转移基板结合;/n去除所述临时载板和所述基底;/n将所述第二部分的LED芯片的第二表面与所述第二转移基板结合;/n将结合了所述第一转移基板和所述第二转移基板的LED芯片放置在去胶溶液中,分离所述第一部分和所述第二部分的LED芯片,使得所述第一部分的LED转移至所述第一转移基板上,所述第二部分的LED转移至所述第二转移基板上。/n
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