[发明专利]Micro-LED巨量转移方法、显示装置及制作方法有效
申请号: | 201810743952.0 | 申请日: | 2018-07-09 |
公开(公告)号: | CN108807265B | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 林志伟;邓群雄;陈凯轩;柯志杰;卓祥景 | 申请(专利权)人: | 厦门乾照光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77 |
代理公司: | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李婷婷;王宝筠 |
地址: | 361100 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本申请公开一种Micro‑LED巨量转移方法、Micro‑LED显示装置及其制作方法,所述Micro‑LED巨量转移方法,通过将阵列上的LED芯片分为两部分,且LED芯片包括相对设置的第一表面和第二表面,其中一部分的第一表面与第一转移基板结合,另一部分的第二表面与第二转移基板结合,将第一部分的LED转移至第一转移基板上,第二部分的LED转移至第二转移基板上。即通过将两个表面分别结合至两个转移基板上,然后通过一次分离,使得Micro‑LED实现巨量转移,无需剥离等复杂工艺,且LED芯片为已经制作完成的LED芯片,无需在巨量转移之后再进行芯片工艺,从而相对于现有技术而言,更加简单,而且成本较低。 | ||
搜索关键词: | 转移基板 第二表面 第一表面 制作 复杂工艺 显示装置 相对设置 芯片工艺 一次分离 剥离 申请 | ||
【主权项】:
1.一种Micro-LED巨量转移方法,其特征在于,包括:/n提供Micro-LED阵列,所述Micro-LED阵列包括基底和位于所述基底表面的多个呈阵列排布的LED芯片,多个所述LED芯片包括相对设置的第一表面和第二表面,所述第二表面位于所述基底表面,多个所述LED芯片分为第一部分和第二部分;/n提供临时载板、第一转移基板和第二转移基板;/n将所述基底背离所述LED芯片的表面与所述临时载板结合;/n将所述第一部分的LED芯片的第一表面与所述第一转移基板结合;/n去除所述临时载板和所述基底;/n将所述第二部分的LED芯片的第二表面与所述第二转移基板结合;/n将结合了所述第一转移基板和所述第二转移基板的LED芯片放置在去胶溶液中,分离所述第一部分和所述第二部分的LED芯片,使得所述第一部分的LED转移至所述第一转移基板上,所述第二部分的LED转移至所述第二转移基板上。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造