[发明专利]一种轮式双轴微机械陀螺

摘要

本发明涉及一种轮式双轴微机械陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，驱动折叠梁，中心连接梁，内环框架，外环框架，多组扭转梁，检测质量块，驱动梳齿和驱动反馈梳齿。固定在衬底上的中心连接梁与内环框架连接，内环框架通过一组扭转梁与检测质量块连接，外环框架通过一组扭转梁与检测质量块连接，驱动折叠梁一端与外环框架连接，另一端固定连接在衬底上。检测质量块可以分别以X轴和Y轴为扭转轴进行面外扭摆运动，实现差分检测。本发明可同时检测两个轴的角速度输入，对线加速度不敏感、机械耦合小、工艺过程简单，可以大批量生产，并且有利于和其他元器件集成惯性测量单元，应用于汽车、航空航天、军事等领域。

主权项

1.一种轮式双轴微机械陀螺，用于检测物体围绕水平面内X、Y轴的旋转，其特征在于：它包括衬底，锚点，驱动折叠梁，中心连接梁，内环框架，外环框架，内环检测X轴扭转梁，内环检测Y轴扭转梁，外环检测X轴扭转梁，外环检测Y轴扭转梁，检测质量块，驱动梳齿，驱动反馈梳齿，检测电极，驱动电极及驱动反馈电极；所述驱动梳齿和所述驱动反馈梳齿分别包括动齿和静齿；/n所述内环框架，外环框架，检测质量块，驱动梳齿及驱动反馈梳齿分别相对于陀螺X、Y轴对称分布；所述中心连接梁通过所述锚点固定连接在所述衬底上，所述中心连接梁与所述内环框架固定连接，所述内环框架通过所述内环检测X轴扭转梁或所述内环检测Y轴扭转梁与所述检测质量块固定连接，所述驱动反馈梳齿的动齿与所述内环框架连接，所述外环框架通过所述外环检测X轴扭转梁或所述外环检测Y轴扭转梁与所述检测质量块连接，所述驱动折叠梁一端与所述外环框架连接，另一端通过所述锚点固定连接在所述衬底上，所述驱动梳齿的动齿与所述外环框架固定连接。/n