[发明专利]原子层成长装置

摘要

本发明提供一种电浆原子层成长装置(100)，具有：下部电极(BE)，用于保持基板(1S)；上部电极(UE)，具有与下部电极(BE)相对的对向面，且用于与下部电极(BE)之间产生电浆放电；此外，电浆原子层成长装置(100)具备导体防附着部件(10a)，其通过多个螺丝(13a)固定于上部电极(UE)的对向面上；及导体防附着部件(10b)，其通过多个螺丝(13b)固定于导体防附着部件(10a)。此时，于俯视平面中，多个螺丝(13a)与多个螺丝(13b)为互相不重叠。

主权项

1.一种原子层成长装置，其特征在于，具备：第一电极，用于保持基板；第二电极，具有与所述第一电极相对的对向面，且用于与所述第一电极之间产生电浆放电；第一导体防附着部件，其通过多个第一连接部件固定于所述第二电极的对向面上；及第二导体防附着部件，其通过多个第二连接部件固定于所述第一导体防附着部件，其中，于俯视平面中，所述等多个第一连接部件与所述等多个第二连接部件配置为互相不重叠。