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[发明专利]原子层生长装置及原子层生长方法-CN201780035099.0有效
发明人： 鹫尾圭亮;松本竜弥 -专利权人：株式会社日本制钢所
申请日： 2017-04-24 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：一种原子层生长装置，具有：成膜容器(11)，其进行成膜处理；载物台(14)，其保持基板(100)并可上下移动；基座(50)，其被保持在载物台(14)上，并且保持基板(100)；载物台停止器(17)，其使载物台(14)的上升停止，并且通过与基座(50)的接触而划分出进行上述成膜处理的成膜空间(S)与进行上述基板(100)的搬送的搬送空间。而且，基座50具有：上部基座基板保持部(52B)，其保持基板(100)；上部基座周边部(52A)，其配置在上部基座基板保持部(52B)的周围；在上部基座周边部(52A)上设置有基座防附着材料(15)。
原子生长装置方法

[发明专利]等离子体原子层生长装置及原子层生长方法-CN201780035111.8有效
发明人： 鹫尾圭亮;松本竜弥 -专利权人：株式会社日本制钢所
申请日： 2017-04-24 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供一种能够提高形成在基板上的膜的品质的等离子体原子层生长装置。该等离子体原子层生长装置通过使得在保持基板(1S)的下部电极(BE)和与下部电极(BE)对向配置的上部电极(UE)之间产生等离子体放电，从而在基板(1S)上以原子层为单位而形成膜，其中，具有防附着构件(CTM)，该防附着构件由在平面视角下与上部电极(UE)隔开间隔并包围着上部电极的绝缘体构成。
等离子体原子生长装置方法

[发明专利]原子层生长装置及原子层生长方法-CN201780035105.2有效
发明人： 鹫尾圭亮;松本竜弥 -专利权人：株式会社日本制钢所
申请日： 2017-04-24 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种原子层生长装置，具有：成膜容器(11)，其进行成膜处理；能够上下移动的载物台(14)，其设置在成膜容器(11)内，并保持基板(100)；载物台停止器(17)，其使载物台(14)的上升停止，并通过与载物台(14)的接触而划分出进行上述成膜处理的成膜空间(S)和进行基板(100)的搬送的搬送空间；周边部载物台防附着材料(15)，其覆盖载物台(14)的周边部；载物台停止器防附着材料(24)，其设置在载物台停止器(17)上。
原子生长装置方法

[发明专利]原子层生长装置-CN201680031264.0有效
发明人：松本龙弥;鹫尾圭亮 -专利权人：株式会社日本制钢所
申请日： 2016-04-19 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：本发明是一种在基板上形成薄膜的原子层生长装置，具备：成膜容器；在成膜容器内设置的平台；在平台上保持基板的基座；配置在基板上且尺寸包围基板的掩模；能够支撑掩模上下可动的掩模销；以及在上下方向上贯通平台及基座并使掩模销能够以上下可动的方式插通的掩模销孔，基座具备：具有基板的保持面的基座主体；位于基座主体的周围且高度比保持面低的基座周缘部，掩模销孔在基座周缘部开口，在基座周缘部的掩模包围的区域内，在保持面的周围设置向上方侧排出气体的惰性气体供给口，惰性气体供给口与供给惰性气体的惰性气体供给路径连接。
原子生长装置

[发明专利]等离子体原子层生长装置-CN201680029977.3有效
发明人：松本龙弥;鹫尾圭亮 -专利权人：株式会社日本制钢所
申请日： 2016-04-19 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：一种等离子体原子层生长装置，具备：能够从成膜容器内侧安装到气体导入开口部并包围气体导入开口部的开口的筒状绝缘性喷射器防粘构件；能够从成膜容器内侧安装到排气开口部并包围排气开口部的开口的筒状绝缘性排气防粘构件；能够安装到成膜容器的内壁侧的绝缘性成膜室防粘构件，喷射器防粘构件在与平板电极及相对电极侧之间具有间隙，以平板电极端为基准，前端位于内侧，排气防粘构件在与平板电极及相对电极侧之间具有间隙，以平板电极端为基准，前端位于内侧，成膜室防粘构件在喷射器防粘构件及排气防粘构件的两侧方配置为横跨喷射器防粘构件和排气防粘构件，在与平板电极及相对电极侧之间具有间隙，并具备：从上述间隙向成膜容器的内侧吹扫惰性气体的上部惰性气体供给口；从上述间隙向成膜容器的内侧吹扫惰性气体的下部惰性气体供给口；与上部惰性气体供给口连接的上部惰性气体供给部；与下部惰性气体供给口连接的下部惰性气体供给部。
等离子体原子生长装置

[发明专利]原子层成长装置及原子层成长装置排气部-CN201680029914.8有效
发明人：松本龙弥;鹫尾圭亮 -专利权人：株式会社日本制钢所
申请日： 2016-04-19 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明的原子层成长装置具备：筒状的排气配管连接部，其安装在设置于成膜容器的排气用开口部的外侧，其外周面具有超过开口部的大小，其排气路径位于筒孔侧；以及筒状的排气防附着部件，其位于成膜容器内侧，插入并安装于开口部，其排气路径位于筒孔侧，排气配管连接部设置有：与排气路径分隔并且有惰性气体流通的连接部惰性气体供给路径；以及设置于连接部惰性气体供给路径并且惰性气体向开口部侧流出的连接部惰性气体供给口，排气防附着部件设置有：与排气路径分隔，由开口部内周面及开口部周围的成膜容器内壁与防附着部件之间的间隙形成，并与连接部惰性气体供给口连通的防附着部件惰性气体供给路径；以及设置于防附着部件惰性气体供给路径并且惰性气体向成膜容器内部流出的防附着部件惰性气体排出口。
原子成长装置排气

[发明专利]原子层生长装置-CN201680030039.5有效
发明人：松本龙弥;鹫尾圭亮 -专利权人：株式会社日本制钢所
申请日： 2016-04-19 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明的原子层生长装置具备安装到成膜容器开口部的喷射器和插入安装到开口部的喷射器防粘构件，在喷射器分隔设有喷射器原料气体供给路径、喷射器原料气体供给口、喷射器反应气体供给路径、喷射器反应气体供给口、喷射器惰性气体供给路径、喷射器惰性气体供给口，在喷射器防粘构件分隔设有防粘构件原料气体供给路径、防粘构件原料气体供给口、防粘构件反应气体供给路径、防粘构件反应气体供给口、防粘构件惰性气体供给路径、防粘构件惰性气体供给口，在喷射器防粘构件的外周侧和开口部的内周侧的间隙，设有防粘构件惰性气体供给路径，以使惰性气体流过。
原子生长装置

[发明专利]原子层成长装置、使用原子层成长装置的成膜方法及原子层成长装置的清洁方法-CN201810827079.3在审
发明人：寅丸雅光;鹫尾圭亮;千叶理树;中田真生 -专利权人：株式会社日本制钢所
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：为抑制于基板上形成的膜的膜质劣化，电浆原子层成长装置(1)具备：原料气体供给口(14)，设置于成膜容器(1)的成膜容器(1A)的第一侧壁，且还具有作为清洁气体供给口的功能；原料气体排出口(15)，设置于成膜容器(1A)的第二侧壁，且还具有作为清洁气体排出口的功能。
成长装置原子层成膜容器清洁气体排出口原料气体供给第二侧壁第一侧壁原料气体供给口成膜电浆基板劣化膜质清洁

[发明专利]原子层成长装置-CN201810722262.7在审
发明人： 鹫尾圭亮;中田真生 -专利权人：株式会社日本制钢所
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种电浆原子层成长装置(100)，具有：下部电极(BE)，用于保持基板(1S)；上部电极(UE)，具有与下部电极(BE)相对的对向面，且用于与下部电极(BE)之间产生电浆放电；此外，电浆原子层成长装置(100)具备导体防附着部件(10a)，其通过多个螺丝(13a)固定于上部电极(UE)的对向面上；及导体防附着部件(10b)，其通过多个螺丝(13b)固定于导体防附着部件(10a)。此时，于俯视平面中，多个螺丝(13a)与多个螺丝(13b)为互相不重叠。
螺丝防附着部件导体成长装置下部电极原子层电浆上部电极不重叠对向面放电对向基板俯视

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