[发明专利]柔性碘化物薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201810722068.9 | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN108774726A | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 孙辉;刘一臻;杨定宇;朱兴华;王阳培华 | 申请（专利权）人： | 成都信息工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/30 |
| 代理公司： | 重庆信航知识产权代理有限公司 50218 | 代理人： | 吴从吾 |
| 地址： | 610225 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性碘化物薄膜的制备方法，所述制备方法包括：1)将碘化物粉料在真空干燥箱中烘干除去吸附水分；2)将烘干的碘化物粉料放在钢制模具中用液压机压制成致密圆形块状蒸发源；3)将清洗后的柔性塑料薄膜安装在刚性支撑基板上；4)将蒸发源放置在真空腔体内的圆形石墨坩埚内，将安装有柔性塑料薄膜的刚性支撑基板安装在载片板上，在高真空环境中用电子束轰击蒸发源，控制蒸发功率、蒸发时间即可获得柔性碘化物薄膜。本发明提供的制备方法可控性强、工艺简单、环保、成本低、可大规模制备。 | ||
| 搜索关键词： | 碘化物 制备 蒸发源 薄膜 柔性塑料薄膜 刚性支撑 烘干 粉料 圆形石墨坩埚 致密 电子束轰击 高真空环境 真空干燥箱 钢制模具 基板安装 圆形块状 蒸发功率 可控性 液压机 载片板 真空腔 基板 吸附 清洗 压制 蒸发 体内 环保 | ||
【主权项】：
1.柔性碘化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将碘化物粉料放在真空干燥箱中，烘干除去吸附水分；2)将烘干的碘化物粉料放在钢制模具中，用液压机压制成致密圆形块状蒸发源；3)将清洗后的柔性塑料薄膜安装在刚性支撑基板上；4)将蒸发源放置在真空腔体内的圆形石墨坩埚内，将安装有柔性塑料薄膜的刚性支撑基板安装在载片板上，将腔体抽成真空，用电子束轰击蒸发源，控制蒸发功率、蒸发时间即可。
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