[发明专利]一种用于转移微型发光二极管的转移装置及转移方法有效

专利信息
申请号: 201810703221.3 申请日: 2018-06-30
公开(公告)号: CN110660717B 公开(公告)日: 2023-08-25
发明(设计)人: 武良文 申请(专利权)人: 江西兆驰半导体有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683;H01L33/00
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 胡枫
地址: 330000 江西省南昌市南昌高新技*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明公开一种用于转移微型发光二极管的转移装置及转移方法。本发明包括计算机系统、电磁装置控制部件、转移部件、转移头、移动控制部件、X、Y和Z方向移动轴、第一载台和第二载台;其中:计算机系统与移动控制部件连接,所述移动控制部件同时与X、Y方向移动轴、Z方向移动轴连接,所述移动控制部件通过X、Y方向移动轴、Z方向移动轴来控制转移部件运动。本发明的优点:利用磁致形状记忆合金制备抓取部件,并通过电磁装置控制抓取部件的形状以实现对微型发光二极管的抓取和释放,微型发光二极管与抓取部件之间通过形变力相连接,增加微型发光二极管与抓取部件之间的作用力,降低了转移难度,并增加了微型发光二极管的转移效率。
搜索关键词: 一种 用于 转移 微型 发光二极管 装置 方法
【主权项】:
1.一种用于转移微型发光二极管的转移装置,包括计算机系统(101)、电磁装置控制部件(102)、转移部件(103)、转移头(104)、移动控制部件(105)、X、Y方向移动轴(106)、Z方向移动轴(107)、光学定位部件(108)、第一载台(109)、第二载台(110);其特征在于:计算机系统(101)与移动控制部件(105)连接,所述移动控制部件(105)同时与X、Y方向移动轴(106)、Z方向移动轴(107)连接,所述X、Y方向移动轴(106)与Z方向移动轴(107)连接,所述移动控制部件(105)通过X、Y方向移动轴(106)、Z方向移动轴(107)来控制转移部件(103)运动,转移部件(103)上安装有光学定位部件(108),所述光学定位部件(108)具有识别对位功能用于检测转移部件(103)的运动轨迹,并将检测的结果反馈给计算机系统(101),转移头(104)呈阵列形式分布在所述转移部件(103)底部,所述转移部件(103)下方有第一载台(109),所述第一载台(109)一侧有第二载台(110),所述第一载台(109)和第二载台(110)用于分别放置承载有待转移微型发光二极管(201)的第一基板(301)和作为转移目标的第二基板(302),所述计算机系统(101)与电磁装置控制部件(102)连接,所述转移头(104)包括抓取部件(401)、支架(402)、电磁装置(403),所述抓取部件(401)与支架(402)连接,所述支架(402)上安装有电磁装置(403),用于产生磁场。/n
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