[发明专利]抑制固体介质材料二次电子产额的喷涂镀膜装置及方法

摘要

本发明涉及一种抑制固体介质材料二次电子产额的喷涂镀膜装置及方法，属于等离子体技术领域。所述喷涂镀膜方法包括：将待处理试样清洗并干燥；搭建抑制固体介质材料二次电子产额的喷涂镀膜装置；进行大气压等离子体炬喷涂镀膜实验；进行二次电子产额测试和材料表面物理形貌观测。本发明利用大气压等离子体喷枪产生的等离子体炬，使反应前驱物反应并生成含Ti基团和N基团，在介质表面沉积形成致密均匀的TiN薄膜，具体的，使载气中的前驱物发生分解及聚合反应，在介质表面产生聚合、接枝、交联等作用，使沉积的薄膜形成“微陷阱”结构，降低表面粗糙度，抑制固体介质二次电子产额，提高介质表面绝缘性能。

主权项

1.一种抑制固体介质材料二次电子产额的喷涂镀膜装置，其特征在于，包括：等离子体喷枪(3)，其包括放电腔体，所述放电腔体的内部设有高压电极(2)，所述高压电极(2)接高压电源(1)的高压输出端；所述放电腔体的外壳接地；所述放电腔体的顶部设有用于通激发气体第一进气口(4)；所述放电腔体的底部设有喷嘴(6)，所述喷嘴(6)的一侧设有用于通载气的第二进气口(5)；所述喷嘴(6)的底部设有用于放置试样(15)的可移动试验台(17)。