[发明专利]一种高灵敏硅二维风速计及其制作方法有效
| 申请号： | 201810644616.0 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN109188015B | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 秦明;张瑶霖;易真翔;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/10 | 分类号： | G01P5/10;G01P13/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 田凌涛 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高灵敏硅二维风速计，包括衬底（1）、绝缘隔热层（2）、正四棱台（3）和四个测量组；基于本发明所设计的技术方案，构成高灵敏硅二维风速计，同时设计了与之对应的高灵敏硅二维风速计制造方法，整个技术方案是一种迎风结构，任何时候总有一个或两个斜坡面面对来风的方向，对风速计的安装要求低，且可提高整个器件的灵敏度；风速计的矩形块状加热件（4）和测温元件（5）都制作在正四棱台（3）的斜坡面上，有效降低了芯片体积；如此，风速计设置在斜坡面上，迎风和背风的传感器受凸台隔离，降低了交叉敏感，提高了器件的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏 二维 风速计 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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