[发明专利]一种机器人用吸盘装置

摘要

本发明公开了一种机器人用吸盘装置，包括盘体，所述盘体的上端中央设置有中央吸盘，中央吸盘的中央开设有中央气孔；所述中央吸盘的外侧从内往外依次设置有第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘，第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘的内侧中央均开设有通孔；所述盘体的下端设置有气腔，气腔均与中央气孔、通孔连通。本机器人用吸盘装置在工作时，盘体设置有多层吸盘，能将较小的晶圆或玻璃基板吸起，各个晶圆或玻璃基板与各个吸盘各自形成合适的真空度，避免了因局部漏气导致整体真空度不足，而吸附不住，在搬运过程中摔碎，吸附物体更平稳；整体较好吸附裂纹较多、凹凸不平较为严重的基板，有效的对吸附过程进行监控，减少待吸附件的损坏。

主权项

1.一种机器人用吸盘装置，包括盘体(1)，其特征在于：所述盘体(1)的上端中央设置有中央吸盘(2)，中央吸盘(2)的中央开设有中央气孔(3)；所述中央吸盘(2)的外侧从内往外依次设置有第一层吸盘(4)、第二层吸盘(5)和第三层吸盘(6)，第一层吸盘(4)、第二层吸盘(5)和第三层吸盘(6)的内侧中央均开设有通孔(7)；所述第三层吸盘(6)的外侧设置有缓冲圈(8)，缓冲圈(8)与盘体(1)的上端固定连接；所述盘体(1)的上端外侧设置有平头螺栓(9)，盘体(1)的下端设置有固定座(10)，盘体(1)通过平头螺栓(9)与固定座(10)固定连接；所述盘体(1)的下端设置有气腔(11)，气腔(11)均与中央气孔(3)、通孔(7)连通；所述固定座(10)的下端设置有气体进入管(12)，气体进入管(12)的左端设置有压力表(13)，气体进入管(12)的右端设置有压力传感器(14)，气体进入管(12)与真空源连接；所述压力传感器(14)的上端设置有固定板(141)，压力传感器(14)的中央设置有感应片(142)，压力传感器(14)通过固定板(141)与固定座(10)固定连接，感应片(142)与气腔(11)接触连接。