[发明专利]一种氧化镍薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201810611518.7 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN108807687A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 胡荣 | 申请（专利权）人： | 重庆文理学院 |
| 主分类号： | H01L51/44 | 分类号： | H01L51/44;H01L51/46;H01L51/48;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 重庆晶智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 50229 | 代理人： | 李靖 |
| 地址： | 40216*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化镍薄膜的制备方法。它依次包括以下步骤：（1）配置前驱溶液：分别取氢氧化镍，胺类和醇类有机溶剂，氨水，进行多次溶解至氢氧化镍完全溶解，所得清液即为前驱溶液；（2）制备薄膜：用前驱溶液在预先已清洁处理过的基底表面涂覆一层厚度为20～50nm的薄膜，之后将基底置于250～450℃热处理。本发明方法成本低廉、操作简单，且可制得综合性能优异的氧化镍薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化镍薄膜 前驱溶液 制备 氢氧化镍 薄膜 氨水 醇类有机溶剂 热处理 基底表面 清洁处理 完全溶解 综合性能 层厚度 胺类 基底 清液 涂覆 溶解 配置 | ||
【主权项】：
1.一种氧化镍薄膜的制备方法，其特征在于，依次包括以下步骤：（1）配置前驱溶液分别取氢氧化镍，胺类和醇类有机溶剂，氨水，进行多次溶解至氢氧化镍完全溶解，所得清液即为前驱溶液；（2）制备薄膜用前驱溶液在预先已清洁处理过的基底表面涂覆一层厚度为20～50nm的薄膜，之后将基底置于250～450℃热处理。
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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