[发明专利]一种反应烧结碳化硅的装炉方法有效
申请号: | 201810564112.8 | 申请日: | 2018-06-04 |
公开(公告)号: | CN108706977B | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 王东;陈兵;邱冰山;刘飞 | 申请(专利权)人: | 陕西固勤材料技术有限公司 |
主分类号: | C04B35/565 | 分类号: | C04B35/565;C04B35/65 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 安彦彦 |
地址: | 710086 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种反应烧结碳化硅的装炉方法,将炭黑和BN粉均匀附着在单质硅颗粒表面,得到表面处理后的单质硅颗粒;在炉子内设置有多层石墨板,并且每层石墨板上装多层圆柱状素坯产品;将表面处理后的单质硅颗粒均匀铺洒到最上层石墨板上的圆柱状素坯产品的表面。本发明通过处理反应烧结所需的单质硅,即将单质硅颗粒表明附着炭黑,在高温情况下,表面附着的炭黑先用硅发生反应生成碳化硅外壳。其外壳相当于一个控制硅渗出的装置。该外壳在反应过程中有一定的支撑作用,并且能有效的控制渗硅速率和均匀性。当产品渗硅均匀时,产品的形变就可得到很好的控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 反应 烧结 碳化硅 方法 | ||
【主权项】:
1.一种反应烧结碳化硅的装炉方法,其特征在于,包括以下步骤:1)单质硅颗粒表面处理:将炭黑和BN粉均匀附着在单质硅颗粒表面,得到表面处理后的单质硅颗粒;2)在炉子内设置有多层石墨板(2),并且每层石墨板(2)上装多层圆柱状素坯产品;3)将表面处理后的单质硅颗粒均匀铺洒到最上层石墨板(2)上的圆柱状素坯产品的表面。
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