[发明专利]一种太阳能电池及其芯片和该芯片的制备方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池及其芯片和该芯片的制备方法，属于太阳能电池技术领域。本发明的太阳能电池芯片，包括电池芯片单元，该电池芯片单元包括导热基板及固定于导热基板上的多个纳米柱结构，该纳米柱结构包括自下而上依次设置的金属电极、p型氮化镓层和多量子阱层，所述多量子阱层的上方设有n型氮化镓层；其制备步骤为：在衬底上外延源区结构；制备透明电极；在金属电极上刻出圆形图形，利用干法刻蚀技术刻蚀出纳米柱结构，把金属电极焊接在导热基板上，剥离掉衬底；制备n面电极，并光刻出图形；集成封装。采用本发明的方法制备得到的太阳能电池芯片可以大大增加光吸收面积及光电效率，且同时可以吸收多个太阳能光谱。

主权项

1.一种太阳能电池芯片，其特征在于：包括电池芯片单元，该电池芯片单元包括导热基板(9)及固定于导热基板(9)上的多个纳米柱结构，所述的纳米柱结构包括自下而上依次设置的金属电极(5)、p型氮化镓层(4)和多量子阱层(3)，所述多量子阱层(3)的上方设有n型氮化镓层(2)。