[发明专利]一种横向绝缘栅型光电导开关及其制作方法

摘要

本发明公开了一种横向绝缘栅型光电导开关，包括半绝缘衬底，在半绝缘衬底的下表面上依次制作有重n型掺杂区II和阳极，在该半绝缘衬底的上方制作有电触发区域，电触发区域的上方制作有绝缘层，绝缘层的两端分别制作有阴极，阴极与电触发区域的上端接触，绝缘层的上表面中心处制作有栅极，在激光触发区域的激光入射侧的对侧安装有全反射镜。本发明还公开了上述光电导开关的制作方法。本发明提供的光电导开关能够改善漏电流问题，并提高光能利用率。

主权项

1.一种横向绝缘栅型光电导开关，其特征在于：包括半绝缘衬底(8)，在半绝缘衬底(8)的下表面上依次制作有重n型掺杂区II(9)和阳极(10)，在该半绝缘衬底(8)的上方制作有电触发区域(11)，电触发区域的上方制作有绝缘层(3)，绝缘层(3)的两端分别制作有阴极(1)，阴极(1)与电触发区域(11)的上端接触，绝缘层(3)的上表面中心处制作有栅极(2)，在半绝缘衬底(8)的激光(12)入射侧的对侧安装有全反射镜(13)。