[发明专利]一种软膜载盘搬运机构在审
| 申请号： | 201810521556.3 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN108861700A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 刘晓成;史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65H5/10 | 分类号： | B65H5/10;B65H5/14;B65G61/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 徐典 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种软膜载盘搬运机构，包括真空吸笔，至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附；机械手，具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度，真空吸笔位于机械手上；空载盘存放区，用于竖向堆叠空载盘；软膜载盘存放区，用于竖向堆叠的已装配有软膜的载盘；软膜载盘存放区设有感知载盘数量的红外线传感器；机械手将载盘在空载盘存放区与软膜载盘存放区之间转移。真空吸笔竖向布置，真空吸笔的顶端连接有吸笔固定盘，真空吸笔具备调节自身竖向位移的微调机构，微调机构为具备螺纹的旋钮。吸笔固定盘上具备指向载盘的吹拂孔。采用此发明实现空载盘装软膜的批量作业，将栽盘竖向堆叠存放，占地面积小，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 载盘 软膜 真空吸笔 存放区 空载 竖向 机械手 搬运机构 微调机构 固定盘 堆叠 吸笔 红外线传感器 平移自由度 顶端连接 堆叠存放 竖向布置 竖向位移 上表面 螺纹 盘装 竖直 吸附 旋钮 吹拂 感知 装配 指向 | ||
【主权项】：
1.一种软膜载盘搬运机构，其特征在于，包括：真空吸笔，至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附；机械手，具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度，所述真空吸笔位于机械手上；空载盘存放区，用于竖向堆叠空载盘，所述空载盘存放区设有感知载盘数量的红外线传感器；软膜载盘存放区，用于竖向堆叠的已装配有软膜的载盘；所述机械手将载盘在空载盘存放区与软膜载盘存放区之间转移。
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