[发明专利]一种软膜载盘搬运机构

说明书

本发明公开了一种软膜载盘搬运机构，包括真空吸笔，至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附；机械手，具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度，真空吸笔位于机械手上；空载盘存放区，用于竖向堆叠空载盘；软膜载盘存放区，用于竖向堆叠的已装配有软膜的载盘；软膜载盘存放区设有感知载盘数量的红外线传感器；机械手将载盘在空载盘存放区与软膜载盘存放区之间转移。真空吸笔竖向布置，真空吸笔的顶端连接有吸笔固定盘，真空吸笔具备调节自身竖向位移的微调机构，微调机构为具备螺纹的旋钮。吸笔固定盘上具备指向载盘的吹拂孔。采用此发明实现空载盘装软膜的批量作业，将栽盘竖向堆叠存放，占地面积小，效率高。

技术领域

本发明涉及搬运设备，具体涉及一种软膜载盘搬运机构。

背景技术

纳米压印领域会大量应用到软膜以及与软膜搭配使用的载盘，一个载盘承托一个软膜，需要彼此分离的软膜、载盘相互配合在一起。同时，为了节省空间，软膜、载盘也不能平铺，需要竖向堆叠起来。如果用人工来完成这项任务，则费时费力。

发明内容

本发明要解决的问题在于提供一种软膜载盘搬运机构，实现空载盘装软膜的批量作业，将栽盘竖向堆叠存放，占地面积小，效率高。

为解决上述问题，本发明提供一种软膜载盘搬运机构，为达到上述目的，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种软膜载盘搬运机构，包括：真空吸笔，至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附；机械手，具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度，真空吸笔位于机械手上；空载盘存放区，用于竖向堆叠空载盘，空载盘存放区设有感知载盘数量的红外线传感器；软膜载盘存放区，用于竖向堆叠的已装配有软膜的载盘；机械手将载盘在空载盘存放区与软膜载盘存放区之间转移。

采用上述技术方案的有益效果是：一边是竖向堆叠的空载盘，一边是上下堆叠的均已装有软膜的载盘，实现空载盘装软膜的批量作业，无论是空载盘还是已装有软膜的载盘均是竖向布置，占用水平空间小。一个机械手实现载盘、软膜水平方向上的移动周转，也可以实现将载盘竖向堆叠，机械手覆盖面广，设备成本低。真空吸笔利用载盘上表面的平面进行吸附固定，简单高效。

作为本发明的进一步改进，真空吸笔竖向布置，真空吸笔的顶端连接有吸笔固定盘，真空吸笔具备调节自身竖向位移的微调机构，微调机构为具备螺纹的旋钮。

采用上述技术方案的有益效果是：可以调节真空吸笔的底端高度，保证真空吸笔底端高度持平，以适应载盘的上表面，确保每个真空吸笔均与载盘吸附固定。

作为本发明的更进一步改进，真空吸笔的自身轴线均与同一水平面上的圆相交，相邻真空吸笔与圆的圆心连线夹角相等。

采用上述技术方案的有益效果是：夹角相等使得每个吸笔对应的分力相等，防止真空吸笔与载盘抓取时突然分离。

作为本发明的又进一步改进，空载盘存放区与软膜载盘存放区设在同一水平高度，空载盘存放区连接有一条水平传送带，空载盘存放区、软膜载盘存放区的连线与水平传送带传送方向垂直。

采用上述技术方案的有益效果是：机械手可以在空载盘存放区、软膜载盘存放区、水平传送带三者间转移，使得空载盘的进料也变得连续高效。

作为本发明的又进一步改进，机械手连接在机架上，机架顶部具备工作台，空载盘存放区、软膜载盘存放区设置在工作台上，机架的底部设有万向轮。

采用上述技术方案的有益效果是：机架为各部件提供的合理的固定位置，也方便人员操作，方便设备移动。

作为本发明的又进一步改进，吸笔固定盘上具备指向载盘的吹拂孔。

采用上述技术方案的有益效果是：空载盘在长期的摆放中可能会沾上浮灰，当沾有浮灰的载盘再承托软膜，容易污染软膜，影响压印效果。可以对载盘上的浮灰进行清除。