[发明专利]一种软膜载盘搬运机构在审
| 申请号： | 201810521556.3 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN108861700A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 刘晓成;史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光舵微纳科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65H5/10 | 分类号： | B65H5/10;B65H5/14;B65G61/00 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 徐典 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 载盘 软膜 真空吸笔 存放区 空载 竖向 机械手 搬运机构 微调机构 固定盘 堆叠 吸笔 红外线传感器 平移自由度 顶端连接 堆叠存放 竖向布置 竖向位移 上表面 螺纹 盘装 竖直 吸附 旋钮 吹拂 感知 装配 指向 | ||
1.一种软膜载盘搬运机构，其特征在于，包括：
真空吸笔，至少三个真空吸笔对载盘的上表面边沿进行吸附；
机械手，具备水平、竖直方向上的三个机械平移自由度，所述真空吸笔位于机械手上；
空载盘存放区，用于竖向堆叠空载盘，所述空载盘存放区设有感知载盘数量的红外线传感器；
软膜载盘存放区，用于竖向堆叠的已装配有软膜的载盘；
所述机械手将载盘在空载盘存放区与软膜载盘存放区之间转移。
2.根据权利要求1所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述真空吸笔竖向布置，所述真空吸笔的顶端连接有吸笔固定盘，所述真空吸笔具备调节自身竖向位移的微调机构，所述微调机构为具备螺纹的旋钮。
3.根据权利要求1所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述真空吸笔的自身轴线均与同一水平面上的圆相交，相邻真空吸笔与圆的圆心连线夹角相等。
4.根据权利要求1所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述空载盘存放区与软膜载盘存放区设在同一水平高度，所述空载盘存放区连接有一条水平传送带，所述空载盘存放区、软膜载盘存放区的连线与水平传送带传送方向垂直。
5.根据权利要求1所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述机械手连接在机架上，所述机架顶部具备工作台，所述空载盘存放区、软膜载盘存放区设置在工作台上，所述机架的底部设有万向轮。
6.根据权利要求2所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述吸笔固定盘上具备指向载盘的吹拂孔。
7.根据权利要求6所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述吸笔固定盘底部具备凸曲面，若干个吹拂孔阵列在凸曲面上，同时吹拂孔的自身方向与凸曲面的相交处垂直。
8.根据权利要求7所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述吹拂孔与真空吸笔共用一个正负压气源，所述真空吸笔的吸气从吹拂孔中排出。
9.根据权利要求8所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述真空吸笔与吹拂孔之间设有止回阀。
10.根据权利要求9所述的一种软膜载盘搬运机构，其特征在于：所述吸笔固定盘上设有接触感应器，当真空吸笔未接触载盘时便触发真空吸笔、吹拂孔工作。
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