[发明专利]一种太阳能电池薄膜清边加工装置及加工方法在审
| 申请号： | 201810515374.5 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN108453375A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 刘庆京;潘利鑫;王怡鹏 | 申请（专利权）人： | 北京莱泽光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/082;B23K26/40 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池薄膜清边加工装置，其包括有用于发射激光的超快激光器，沿激光的传输方向依次设有激光扩束器、反射镜组、平场扫描镜和聚焦镜，所述聚焦镜出射的聚焦光束作用于待加工的薄膜工件上，藉由该聚焦光束对太阳能电池薄膜进行清边加工。本发明采用透明导电膜吸收率很高的高峰值功率的超快激光，经由扩束、二维扫描、长焦聚焦镜后，将激光聚焦在薄膜工件表面，进而除去基板膜层之外的膜层，使其直接气化，同时不损伤基板膜层，较好地实现了对柔性太阳能薄膜电池的大面积清边，并具有激光能量的利用率高、热影响小、边缘质量好、清边效率快等有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清边 太阳能电池薄膜 聚焦镜 薄膜工件 基板膜层 加工装置 聚焦光束 吸收率 激光 加工 太阳能薄膜电池 超快激光器 高峰值功率 激光扩束器 透明导电膜 超快激光 传输方向 二维扫描 反射镜组 激光聚焦 激光能量 清边效率 热影响 扫描镜 长焦 出射 扩束 膜层 气化 损伤 发射 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能电池薄膜清边加工装置，其特征在于，包括有用于发射激光的超快激光器(1)，沿激光的传输方向依次设有激光扩束器(2)、反射镜组(3)、平场扫描镜(4)和聚焦镜(5)，所述聚焦镜(5)出射的聚焦光束作用于待加工的薄膜工件(10)上，藉由该聚焦光束对阳能电池薄膜进行清边加工。
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