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- [发明专利]激光焦点自动追踪方法-CN202310161781.1在审
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王怡鹏;刘庆京;朱凯
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北京莱泽光电技术有限公司
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2023-02-24
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2023-05-30
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H01L21/67
- 本发明涉及一种激光焦点自动追踪方法,属于半导体加工技术领域,解决了传统晶圆切割存在的切割刀晶圆的上表面或下表面,产生粉尘的问题;激光焦点自动追踪方法,具体步骤包括:放置晶圆、调试激光切割设备、晶圆切割前检测、晶圆补偿切割、激光切割设备复位、变更晶圆位置和取下晶圆。本发明激光切割设备内的激光位移计和压电陶瓷之间的互相配合实现了激光焦点聚焦在晶圆内部,沿晶圆表面的形状对晶圆内部进行切割,避免了晶圆翘曲变形导致的传统激光切割容易出现焦点直线运动用到晶圆的上表面或下表面,产生粉尘,进而避免了对晶圆造成污染及影响后道工序。
- 激光焦点自动追踪方法
- [实用新型]高精度全天候激光测距装置-CN202123333048.9有效
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刘庆京;朱凯
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南京伏尔甘光电科技有限公司
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2021-12-28
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2022-10-28
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G01S17/08
- 本实用新型涉及激光测距技术领域,具体的说是高精度全天候激光测距装置,包括:支架;防护壳,所述防护壳设置于所述支架的顶部,所述防护壳的内壁设置有设备主体;辅助结构,对设备主体进行保护的所述辅助结构设置于防护壳的内部;通过设置防护壳、活动结构和辅助结构,能够在运输携带设备主体的过程中,通过防护壳和辅助结构对设备主体进行保护,有效减少了运输携带过程中由于颠簸导致设备主体碰撞损坏的情况,同时防护壳能够避免设备直接与外界物品发生碰撞,提高了对设备主体的保护效果,通过缓冲板和鼓起后压缩气囊的共同作用下,能够有效减少颠簸产生的冲击力传递,进而减少了冲击力对设备主体的影响。
- 高精度全天候激光测距装置
- [实用新型]激光加工机械探测定位装置-CN202123333022.4有效
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刘庆京;朱凯
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南京伏尔甘光电科技有限公司
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2021-12-28
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2022-10-25
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B23K26/03
- 本实用新型涉及激光加工设备技术领域,具体的说是激光加工机械探测定位装置,包括:输送器;激光打标器,所述激光打标器安装于输送器的一端;摄像机,所述摄像机安装于激光打标器的表面;防尘机构,用于防护摄像机的所述防尘机构安装于摄像机的表面;通过设置防尘机构,透明防尘带可在不影响摄像机正常采集数据的前提下,当灰尘、水气等杂质阻挡在保护箱的外部,无需担心这些杂质渗透进摄像机的内部,从而达到良好的保护效果,并且当设置于观测口内部的透明防尘带的表面粘附有较多的杂质时,电机可通过连接轴就能够通过齿带将洁净部分的透明防尘带置换到观测口的内部,无需工作人员暂停装置进行清洁,以保障装置的工作效率。
- 激光加工机械探测定位装置
- [实用新型]高精度激光焦点测量装置-CN202123333043.6有效
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刘庆京;朱凯
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南京伏尔甘光电科技有限公司
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2021-12-28
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2022-10-25
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G01B5/02
- 本实用新型涉及激光加工技术领域,具体的说是高精度激光焦点测量装置,包括激光头,所述激光头的表面下端设置有连接环,所述连接环的内壁固定连接有缓冲垫圈,所述缓冲垫圈的顶部与激光头的表面相接触,所述连接环与激光头同轴心;连接结构,所述连接结构的上端螺纹连接于连接环的内壁,所述连接结构与连接环同轴心;辅助结构;通过设置辅助结构、连接结构和连接环,能够快速安装拆卸连接结构,进而能够在测量完成后通过拆卸连接结构,并配合指示杆上的刻度线进行读数,无需工作人员弯腰读数,减少了对工作人员身体的影响,连接结构能够对指示杆的位置进行限位,减少了多个激光头焦点测量时工作人员需要长时间弯腰读数造成的影响。
- 高精度激光焦点测量装置
- [实用新型]激光发射器腔体结构-CN202123331843.4有效
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刘庆京;朱凯
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南京伏尔甘光电科技有限公司
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2021-12-28
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2022-07-15
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H01S3/102
- 本实用新型涉及激光发射器技术领域,具体的说是激光发射器腔体结构,包括:谐振腔本体;冷却机构,用于冷却谐振腔本体的所述冷却机构安装于谐振腔本体的一端,所述冷却机构的一端贯穿至谐振腔本体的外部;控制器,所述控制器固定连接于冷却机构的表面;导风机构,用于控制冷却机构冷却位置的所述导风机构安装于冷却机构的表面,所述导风机构的数量不少于两个;通过设置冷却机构,当谐振腔本体正常运行时,冷却风机可鼓风到导风管的内部,通过导风管进入冷却管,使得风在通过冷却管的过程中带走谐振腔本体传导至冷却管内部的热量,以降低谐振腔本体的运行温度,无需担心谐振腔本体过热的情况,从而达到良好的冷却效果。
- 激光发射器结构
- [发明专利]一种脉冲型固体激光器-CN202110782089.1在审
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刘庆京;郭林;艾庆康
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北京莱泽光电技术有限公司
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2021-07-12
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2021-08-06
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H01S3/06
- 本发明提供了一种脉冲型固体激光器,包括主振荡器组件和功率放大器组件;主振荡器组件包括第一泵浦源、激光输出模块和激光传递模块,第一泵浦源射出的光线经激光输出模块后形成种子激光;激光传递模块包括第一全反镜和若干反射镜;第一全反镜相对一侧布置若干反射镜;功率放大器组件包括第二泵浦源、波导和板条晶体;板条晶体位于第一全反镜与若干反射镜之间,第二泵浦源射出的光线穿过波导和第一全反镜后进入板条晶体内;种子激光经过若干反射镜和第一全反镜。本发明通过将主振荡器组件输出的激光再经过板条晶体后可放大输出激光功率,而同时不会影响光束的品质及脉冲宽度,从而能够提供脉冲短、平均功率大且光束质量高的激光。
- 一种脉冲固体激光器
- [实用新型]钻孔装置-CN201921050146.1有效
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刘庆京;王怡鹏;艾庆康
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北京莱泽光电技术有限公司
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2019-07-05
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2020-07-24
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B23K26/36
- 一种钻孔装置,包括激光发射器、扩束器、第一二维偏转系统和冷却机构;扩束器和第一二维偏转系统沿激光光路设置,激光依次通过扩束器和第一二维偏转系统后聚焦出射至导管的待钻孔区域;冷却机构包括泵送组件和抽出组件,泵送组件与导管的一端连通,抽出组件与导管的另一端连通。上述钻孔装置,激光聚焦出射至导管的待钻孔区域进行钻孔,钻孔时导管不会发生变形,钻孔位置准确,钻孔效率高。此外,第一二维偏转系统能够快速变化激光出射位置,能够快速对不同的导管进行钻孔,钻孔效率高。通过设置冷却机构,可以在激光钻孔时对导管进行冷却,可以加速导管的散热,降低对激光钻孔对导管的伤害,提高钻孔的质量。
- 钻孔装置
- [实用新型]纳米粉末合金制备装置-CN201920959607.0有效
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刘庆京;潘利鑫;艾庆康
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北京莱泽光电技术有限公司
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2019-06-24
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2020-05-29
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B22F9/04
- 本实用新型提供了一种纳米粉末合金制备装置,包括座体、真空腔室以及皮秒激光器,所述皮秒激光器安设于所述座体上,所述真空腔室内设置有可存放合金材料的样品台,所述皮秒激光器发出的皮秒激光依次经过扩束镜、扫描振镜、物镜以及聚焦镜聚焦于所述样品台的合金材料表面;皮秒激光通过多光子吸收来激发合金材料中的电子并且直接破坏原子键,电子与晶格间的热传导基本可以忽略不计,避免了激光线性吸收、能量转移和扩散等影响,无熔融过程,材料直接从固态转变为等离子状态,收集这种等离子体即可获得纳米颗粒,比较方便快捷,且通过这种方法获取的纳米颗粒纯度高,其处于真空腔室内也不会造成任何环境污染。
- 纳米粉末合金制备装置
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