[发明专利]一种太阳能电池薄膜清边加工装置及加工方法在审
| 申请号： | 201810515374.5 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN108453375A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 刘庆京;潘利鑫;王怡鹏 | 申请（专利权）人： | 北京莱泽光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/082;B23K26/40 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清边 太阳能电池薄膜 聚焦镜 薄膜工件 基板膜层 加工装置 聚焦光束 吸收率 激光 加工 太阳能薄膜电池 超快激光器 高峰值功率 激光扩束器 透明导电膜 超快激光 传输方向 二维扫描 反射镜组 激光聚焦 激光能量 清边效率 热影响 扫描镜 长焦 出射 扩束 膜层 气化 损伤 发射 | ||
1.一种太阳能电池薄膜清边加工装置，其特征在于，包括有用于发射激光的超快激光器(1)，沿激光的传输方向依次设有激光扩束器(2)、反射镜组(3)、平场扫描镜(4)和聚焦镜(5)，所述聚焦镜(5)出射的聚焦光束作用于待加工的薄膜工件(10)上，藉由该聚焦光束对阳能电池薄膜进行清边加工。
2.如权利要求1所述的太阳能电池薄膜清边加工装置，其特征在于，所述超快激光器(1)是脉冲宽度≤15皮秒的激光器。
3.如权利要求1所述的太阳能电池薄膜清边加工装置，其特征在于，所述激光扩束器(2)是6倍率的激光扩束器。
4.如权利要求1所述的太阳能电池薄膜清边加工装置，其特征在于，所述反射镜组(3)包括有第一反射镜(30)、第二反射镜(31)和第三反射镜(32)。
5.如权利要求1所述的太阳能电池薄膜清边加工装置，其特征在于，所述聚焦镜(5)为远心聚焦镜。
6.如权利要求5所述的太阳能电池薄膜清边加工装置，其特征在于，所述聚焦镜(5)的焦距为F＝650mm。
7.如权利要求1所述的太阳能电池薄膜清边加工装置，其特征在于，所述聚焦光束具有50μm的聚焦光斑，所述聚焦光束的能量密度为1J/cm。
8.一种太阳能电池薄膜清边加工方法，其特征在于，该方法基于一装置实现，所述装置包括有超快激光器(1)，以及沿激光的传输方向依次设有激光扩束器(2)、反射镜组(3)、平场扫描镜(4)和聚焦镜(5)，所述方法包括如下步骤：
步骤S1，所述超快激光器(1)发射发射激光；
步骤S2，所述激光扩束器(2)对激光进行扩束后输出入射激光；
步骤S3，入射激光经过反射镜组(3)传输至平场扫描镜(4)；
步骤S4，平场扫描镜(4)出射的激光经过聚焦镜(5)后形成聚焦光束；
步骤S5，利用平场扫描镜(4)驱使聚焦光束在薄膜工件(10)上扫描，藉由该聚焦光束对阳能电池薄膜进行清边加工。
9.如权利要求8所述的太阳能电池薄膜清边加工方法，其特征在于，所述装置中，所述超快激光器(1)是脉冲宽度≤15皮秒的激光器，所述激光扩束器(2)是6倍率的激光扩束器，所述反射镜组(3)包括有第一反射镜(30)、第二反射镜(31)和第三反射镜(32)，所述聚焦镜(5)为远心聚焦镜，所述聚焦镜(5)的焦距为F＝650mm。
10.如权利要求8所述的太阳能电池薄膜清边加工方法，其特征在于，所述步骤S4中，所述聚焦镜(5)出射的聚焦光束具有50μm的聚焦光斑，所述聚焦光束的能量密度为1J/cm。
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