[发明专利]一种压印模板及其制备方法有效
| 申请号： | 201810474894.6 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN108693700B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 谷新;黄华 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82Y40/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印模板及其制备方法，属于纳米压印技术领域，其可解决现有的镍模板的内应力较大，会导致镍模板破裂的问题。本发明的压印模板中在镍基材中分散有纳米粒子，纳米粒子的存在可以降低镍模板内应力，提升镍模板抵抗应力的效果，解决了镍模板在复制过程中易破裂的问题。此外，本发明的方法得到的压印模板的底板与底板上的由多个第一凸起构成的图案为一体结构，压印模板在后续应用过程中第一凸起构成的图案不会出现脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压印 模板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压印模板，包括底板和设于所述底板上的由多个第一凸起构成的图案，其特征在于，所述压印模板的材料包括镍和分散在镍中的纳米粒子。
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