[发明专利]一种化学机械研磨装置

摘要

本发明公开了一种化学机械研磨装置，属于研磨装置领域，一种化学机械研磨装置，包括收纳盒，所述收纳盒的上端开设有大圆槽、小圆槽和L型槽，且大圆槽、小圆槽和L型槽呈三角分布，所述大圆槽内固定连接有电动伸缩柱，所述电动伸缩柱的上端转动连接有旋转柱，所述旋转柱的上端固定连接有研磨台，所述研磨台上放置有研磨杆，所述收纳盒外端开设有通孔，所述通孔内插设有定位销，所述定位销上铰接有L型管的一端，所述L型管的内端连接有储液罐，所述储液罐的上端固定连接有液泵，所述液泵的上端螺纹连接有弹性软管，所述液泵的右端连接有出液阀门。它可以实现将研磨后的各部分装置进行收纳。

主权项

1.一种化学机械研磨装置，包括收纳盒（1），其特征在于：所述收纳盒（1）的上端开设有大圆槽（6）、小圆槽（61）和 L型槽（62），且大圆槽（6）、小圆槽（61）和 L型槽（62）呈三角分布，所述大圆槽（6）内固定连接有电动伸缩柱（3），所述电动伸缩柱（3）的上端转动连接有旋转柱（5），所述旋转柱（5）的上端固定连接有研磨台（2），所述研磨台（2）上放置有研磨杆（4），所述收纳盒（1）外端开设有通孔，所述通孔内插设有定位销（8），所述定位销（8）上铰接有 L型管（7）的一端，所述 L型管（7）的内端连接有储液罐（9），所述储液罐（9）的上端固定连接有液泵（17），所述液泵（17）的上端螺纹连接有弹性软管（10），所述液泵（17）的右端连接有出液阀门（16），所述液泵（17）的上端固定连接有固定板（14），且固定板（14）位于弹性软管（10）左侧，所述固定板（14）与 L型管（7）的内壁之间水平连接有两对横杆（13），所述横杆（13）均滑动连接有同一个滑板（12），且滑板（12）位于弹性软管（10）右侧，所述滑板（12）中部开设有凹槽，所述 L型管（7）的外端开设有螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接有螺纹杆（15），所述螺纹杆（15）的右端转动连接有转盘（11），所述螺纹杆（15）的左端插在凹槽中。