[发明专利]一种宽探测波段双重等离子工作光电探测器的制备方法

摘要

本发明公开了一种宽探测波段双重等离子工作光电探测器及其制备方法，其是采用电子束及退火技术在n‑型硅片的上表面制备双层金纳米颗粒，两层金纳米颗粒之间利用单层石墨烯进行分隔。本发明的双重等离子光电探测器，采用双层金纳米颗粒产生强的双重等离子体共振效应，同时在平面硅肖特基光电探测器中引入金纳米颗粒/石墨烯/金纳米颗粒混合电极，混合电极的特殊结构保证了热电子的有效传输，通过双重等离子体共振电极，拓宽探测器的光电探测波长范围，最终的有效探测波长范围为360‑1330nm，其可在紫外‑可见‑近红外工作。

主权项

1.一种宽探测波段双重等离子工作光电探测器，其特征在于：所述宽探测波段双重等离子光电探测器是以n‑型硅片为衬底(1)；在所述衬底(1)的上表面形成有第一层金纳米颗粒层(2)，在所述第一层金纳米颗粒层(2)上转移有一层石墨烯层(3)，在所述石墨烯层(3)上形成有第二层金纳米颗粒层(4)，使得两层金纳米颗粒层之间通过石墨烯层隔开；在所述第二层金纳米颗粒层(4)上设置有顶电极(5)；在所述衬底(1)的下表面设置有底电极(6)。