[发明专利]纳米颗粒线阵列电阻的制备方法有效
| 申请号： | 201810447949.4 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN108648890B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 张成云;刘志宇;刘佐濂 | 申请（专利权）人： | 广州大学 |
| 主分类号： | H01C17/00 | 分类号： | H01C17/00;H01C17/075;H01C17/242 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郝传鑫;宋静娜 |
| 地址： | 510000 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种纳米颗粒线阵列电阻的制备方法，包括：获得制备样品；将制备样品放置在三维微位移平台上；飞秒脉冲激光经过光路系统后透过石英玻片聚焦在金膜表面，PC机控制三维微位移平台在Y和Z轴方向上移动，金膜被聚焦的激光烧蚀，形成束缚空间的等离子体喷发，喷发的金纳米颗粒被覆盖的玻璃接收，玻璃表面获得金纳米颗粒线阵列电阻；表征金纳米颗粒线阵列电阻的形貌特征。该方法基于飞秒激光微纳加工平台，结合激光诱导后向转移技术，通过控制飞秒脉冲激光能量密度、扫描速度和加工条数，制备金纳米颗粒组成的线阵列电阻，利用扫描电子显微镜和原子力显微镜表征不同加工参数的金纳米颗粒形貌特征。 | ||
| 搜索关键词： | 金纳米颗粒 线阵列 电阻 制备 飞秒脉冲激光 微位移平台 纳米颗粒 形貌特征 三维 等离子体 聚焦 扫描电子显微镜 原子力显微镜 玻璃表面 飞秒激光 光路系统 激光烧蚀 激光诱导 加工参数 金膜表面 石英玻片 微纳加工 样品放置 上移动 后向 金膜 条数 扫描 玻璃 束缚 覆盖 加工 | ||
【主权项】：
1.纳米颗粒线阵列电阻的制备方法，其特征在于，包括飞秒激光系统、三维微位移平台、光路系统和PC机，所述光路系统包括半波片、格兰棱镜、光阑、快门和聚焦物镜，所述飞秒激光系统输出的飞秒脉冲激光依次通过间隔放置的半波片、格兰棱镜、光阑、快门和聚焦物镜，制备样品放置在所述三维微位移平台上，飞秒脉冲激光经过所述聚焦物镜聚焦在制备样品上，所述三维微位移平台和快门通过所述PC机控制；/n所述制备方法包括以下步骤：/n步骤一、将金膜镀在玻璃表面，然后将石英玻片覆盖在金膜上，获得所述制备样品；/n步骤二、将所述制备样品放置在所述三维微位移平台上，石英玻片朝向所述聚焦物镜；/n步骤三、所述飞秒激光系统输出飞秒脉冲激光，飞秒脉冲激光依次经过所述半波片、格兰棱镜、光阑、快门和聚焦物镜后透过石英玻片聚焦在金膜表面，同时所述PC机控制所述三维微位移平台在Y轴和Z轴方向上移动，金膜被聚焦的激光烧蚀，形成束缚空间的等离子体喷发，喷发的金纳米颗粒被覆盖的玻璃接收，实现制备样品表面的飞秒激光诱导后向转移，玻璃表面获得金纳米颗粒线阵列电阻；/n步骤四：利用扫描电子显微镜和原子力显微镜分析表征飞秒激光后向转移技术制备的金纳米颗粒线阵列电阻的形貌特征；/n所述飞秒激光系统输出的飞秒脉冲激光波长为800nm，脉冲宽度为90fs，重复频率为1kHz；/n所述聚焦物镜的焦距为15cm，所述聚焦物镜聚焦后的光斑尺寸为40μm；/n所述半波片与格兰棱镜组合可以连续调节激光输出的能量，所述快门精确选取飞秒脉冲激光数目。/n
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