[发明专利]静电卡盘表面形貌的制备方法

摘要

本发明公开了一种静电卡盘表面形貌的制备方法，属于静电卡盘领域。所述静电卡盘表面形貌的制备方法包括：步骤1：在静电卡盘的介电层表面涂覆或者贴合保护膜，所述保护膜包括曝光区域和不曝光区域；步骤2：对所述不曝光区域贴合光刻掩膜板，对所述曝光区域进行曝光、显影和清洗；步骤3：对清洗后的曝光区域进行凸点沉积；步骤4：对凸点沉积后的介电层的不曝光区域进行清洗。本发明不仅可以根据不同需求，制备出与介电层材料不同的一层或者多层凸点涂层，满足静电卡盘多方面性能需求，而且该方法工艺简单，易操作，效率高，制备过程更加环保。