[发明专利]镧系金属掺杂二氧化铈纳米磨粒的制备方法和应用有效
| 申请号： | 201810440980.5 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN108410424B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 程洁;李杨;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵天月 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了镧系金属掺杂二氧化铈纳米磨粒的制备方法和应用，其中，制备方法包括：(1)测量二氧化铈纳米粉体的吸水率；(2)配制镧系金属硝酸盐溶液，并对所述二氧化铈纳米粉体进行等体积浸渍、陈化、烘干、焙烧和研磨，以便得到所述镧系金属掺杂的二氧化铈纳米磨粒。采用该方法不仅可以有效制备得到镧系金属元素掺杂的二氧化铈纳米磨粒，而且利用该镧系金属元素掺杂的二氧化铈纳米磨粒对介质材料进行化学机械抛光，可以在低磨粒含量下实现较高的材料去除速率和抛光后表面质量，尤其能使介质材料在碱性条件下兼具较高的抛光速率和表面质量，从而实现理想的化学机械抛光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 掺杂 氧化 纳米 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种镧系金属掺杂的二氧化铈纳米磨粒的制备方法，其特征在于，包括：(1)测量二氧化铈纳米粉体的吸水率；(2)配制镧系金属硝酸盐溶液，并对所述二氧化铈纳米粉体进行等体积浸渍、陈化、烘干、焙烧和研磨，以便得到所述镧系金属掺杂的二氧化铈纳米磨粒。
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