[发明专利]一种新型ALD热井加热器

摘要

本发明公开了一种新型ALD热井加热器，具体包括:输出端；内导热管端盖；外导热管；内导热管；导热板；外导热管端盖；输入端。内导热管置于外导热管中，包括圆柱管和半圆形切口，导热板包括半圆状和梯形圆状。本发明通过引入多块导热板相互交叉和内导热管焊接结合将腔室内未发生反应的残留气体通过热井高温分解形成无害的气体排出。该设计方法可以增加残留废气通过热井的时间，使得废气更充分的发生分解，确保尾气排放的安全性，同时，该设计方法可以使得热井内部温度更加均匀稳定，提高分解效率。

主权项

1.一种新型ALD热井加热器，其特征在于，包括输出端(1)、内导热管端盖(2)、外导热管(3)、内导热管(4)、导热板(5)、外导热管端盖(6)、输入端(7)；所述的内导热管端盖(2)位于内导热管(4)的两端，与输出端(1)、输入端(7)连接；其边缘与外导热管(3)内壁连接；所述的外导热管(3)为圆柱状；所述的内导热管(4)置于外导热管(3)中，包括圆柱管(8)和半圆形切口(9)；所述的导热板(5)嵌在内导热管(4)中；所述的外导热管端盖(6)通过内圈连接外导热管(3)，并固定在ALD设备中,连接设备和热井。