[发明专利]一种新型ALD热井加热器在审

申请号：	201810409221.2	申请日：	2018-05-02
公开（公告）号：	CN108660439A	公开（公告）日：	2018-10-16
发明（设计）人：	张洪国;王超;尚浩;夏玉明;雷曼;郑委	申请（专利权）人：	滁州国凯电子科技有限公司
主分类号：	C23C16/455	分类号：	C23C16/455
代理公司：	江苏斐多律师事务所 32332	代理人：	袁敏
地址：	239000 安徽省滁州市世***	国省代码：	安徽;34
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摘要：
搜索关键词：	导热管热井导热板加热器端盖废气半圆形切口分解残留气体高温分解尾气排放半圆状输出端输入端圆柱管多块排出圆状焊接残留室内引入
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【权利要求书】：

1.一种新型ALD热井加热器，其特征在于，包括输出端(1)、内导热管端盖(2)、外导热管(3)、内导热管(4)、导热板(5)、外导热管端盖(6)、输入端(7)；所述的内导热管端盖(2)位于内导热管(4)的两端，与输出端(1)、输入端(7)连接；其边缘与外导热管(3)内壁连接；所述的外导热管(3)为圆柱状；所述的内导热管(4)置于外导热管(3)中，包括圆柱管(8)和半圆形切口(9)；所述的导热板(5)嵌在内导热管(4)中；所述的外导热管端盖(6)通过内圈连接外导热管(3)，并固定在ALD设备中,连接设备和热井。

2.根据权利要求1所述的新型ALD热井加热器，其特征在于，所述的导热板(5)包括半圆状(10)和梯形圆状(11)。

3.根据权利要求1所述的新型ALD热井加热器，其特征在于，所述的ALD热井加热器是多块导热板(5)相互交叉结构。

4.根据权利要求1所述的新型ALD热井加热器，其特征在于，所述的半圆形切口(9)数量至少为9。

5.根据权利要求1所述的新型ALD热井加热器，其特征在于，所述的半圆形切口(9)上下两者之间距离相等。

6.根据权利要求1所述的新型ALD热井加热器，其特征在于，所述的导热板(5)的数量和半圆形切口(9)的数量相同。

7.根据权利要求1所述的新型ALD热井加热器，其特征在于，所述的导热板(5)的厚度和半圆形切口(9)高度相等。

8.根据权利要求1所述的新型ALD热井加热器，其特征在于，所述的导热板(5)面积占内导热管(4)截面积达85％。

9.根据权利要求2所述的新型ALD热井加热器，其特征在于，所述的梯形圆状(11)沿半圆形切口(9)插入内导热管(4)中，接触部位点焊连接。

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