[发明专利]一种金刚石紫外探测器三维电极结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201810398932.4 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108493268B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王宏兴;刘璋成;赵丹;张明辉;王玮;问峰;卜忍安;侯洵 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01L31/0224 | 分类号： | H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司： | 陕西增瑞律师事务所 61219 | 代理人： | 刘春 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石紫外探测器三维电极结构，包括层叠设置的单晶金刚石衬底和本征单晶金刚石外延层，的金刚石外延层表面向外凸出设置有若干条相互平行的金刚石条，的金刚石外延层表面还设置有分别用于作为正极和负极的两个金属电极pad；垂直穿过的金刚石条等距间隔设置有偶数个叉指电极，按照叉指电极的排列顺序依次定义叉指电极5的编号为1、2、3、…、n，则编号为奇数的叉指电极均连接至同一个金属电极pad4上，编号为偶数的叉指电极均连接至另一个金属电极pad上。解决了采用垂直三明治电极结构时衬底和薄膜分离难、载流子收集时间长和收集效率低的问题，同时，解决采用共平面叉指电极结构时电场均匀性不佳的问题，从而提高探测器的响应度和时间响应性能。 | ||
| 搜索关键词： | 叉指电极 金属电极 单晶金刚石 金刚石外延 紫外探测器 金刚石条 三维电极 金刚石 衬底 三明治 正极 等距间隔设置 电场均匀性 载流子收集 薄膜分离 层叠设置 垂直穿过 电极结构 时间响应 收集效率 凸出设置 负极 共平面 外延层 响应度 探测器 本征 平行 垂直 制作 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石紫外探测器三维电极结构，其特征在于，包括层叠设置的单晶金刚石衬底(1)和本征单晶金刚石外延层(2)，所述的金刚石外延层(2)表面向外凸出设置有若干条相互平行的金刚石条(3)，所述的金刚石外延层(2)表面还设置有分别用于作为正极和负极的两个金属电极pad(4)；垂直穿过所述的金刚石条(3)等距间隔设置有偶数个叉指电极(5)，按照叉指电极(5)的排列顺序依次定义叉指电极5的编号为1、2、3、…、n，则编号为奇数的叉指电极(5)均连接至同一个金属电极pad(4)上，编号为偶数的叉指电极(5)均连接至另一个金属电极pad(4)上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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