[发明专利]PVD滚镀装置及方法有效
| 申请号： | 201810396293.8 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN108300974B | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 陈华强;杜旭颖;华秀菊;潘毅 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) 44486 | 代理人： | 崔艳峥 |
| 地址： | 518100 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了PVD滚镀装置及方法，包括镀膜室和设备室，镀膜室和设备室之间由隔板隔离，隔板上穿设有从设备室延伸到镀膜室的主轴，设备室内设置有转动驱动装置，主轴被配置为能在转动驱动装置的驱动下转动；镀膜室内设置有上平移平台、上升降支撑柱、磁控靶组件、第一托盘、第二托盘、机械臂和多个下升降支撑柱在镀膜室内。与现有技术相比，不再需要给小尺寸的工件制作夹具或者挂具，也不再需要对小尺寸工件进行装夹，可直接将大量的小尺寸工件放置在托盘内进行真空镀膜，不仅成本低，而且效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 镀膜室 隔板 转动驱动装置 小尺寸工件 滚镀装置 设备室 室内 镀膜 夹具 磁控靶组件 升降支撑柱 平移平台 真空镀膜 从设备 机械臂 支撑柱 挂具 装夹 转动 隔离 驱动 延伸 配置 制作 | ||
【主权项】：
1.一种PVD滚镀装置，其特征在于，包括镀膜室和设备室，所述镀膜室和所述设备室之间由隔板隔离，所述隔板上穿设有从所述设备室延伸到所述镀膜室的主轴，所述设备室内设置有转动驱动装置，所述主轴被配置为能在所述转动驱动装置的驱动下转动；所述镀膜室内设置有上平移平台、上升降支撑柱、磁控靶组件、第一托盘、第二托盘、机械臂和多个下升降支撑柱，所述第一托盘和所述第二托盘被配置为能相互扣合并锁紧，所述第一托盘与所述主轴可拆卸连接并能随所述主轴转动，所述机械臂的尾端固定于所述镀膜室的侧壁，所述机械臂的首端被配置为能够抓起并移动所述第一托盘和所述第二托盘，所述下升降支撑柱设置在所述镀膜室的底部并被配置为能竖直伸缩；所述磁控靶组件包括靶材箱和由所述靶材箱的底面伸出的多个靶材，所述靶材箱的顶部固定于所述上升降支撑柱，所述上升降支撑柱固定于所述上平移平台，所述上平移平台固定于所述镀膜室的顶部。
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