[发明专利]PVD滚镀装置及方法

说明书

本发明提供了PVD滚镀装置及方法，包括镀膜室和设备室，镀膜室和设备室之间由隔板隔离，隔板上穿设有从设备室延伸到镀膜室的主轴，设备室内设置有转动驱动装置，主轴被配置为能在转动驱动装置的驱动下转动；镀膜室内设置有上平移平台、上升降支撑柱、磁控靶组件、第一托盘、第二托盘、机械臂和多个下升降支撑柱在镀膜室内。与现有技术相比，不再需要给小尺寸的工件制作夹具或者挂具，也不再需要对小尺寸工件进行装夹，可直接将大量的小尺寸工件放置在托盘内进行真空镀膜，不仅成本低，而且效率高。

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及PVD滚镀装置及方法。

背景技术

为改变工件的表面特性，例如颜色、防腐性等，需要工件的表面制作膜层。PVD(Physical Vapor Deposition)-物理气相沉积，指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程，它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。PVD因需要在真空条件下制作，因此也称真空镀膜。在真空镀膜行业，现有技术中，工件主要是通过夹具或者挂架装载，装载量不大，成本较高。对于尺寸很小的零件，由于零部件的外表面积过小，难以用夹具或者挂架装载。即使是一些外表面比较规则或者工件恰好有便于悬挂的孔的小型工件，在镀膜室内逐个挂载这些小型零件也很费时，导致工件装载与取出的效率极低。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供了PVD滚镀装置及方法，用于解决前述技术问题。

具体地，其技术方案如下：

一种PVD滚镀装置，包括镀膜室和设备室，所述镀膜室和所述设备室之间由隔板隔离，所述隔板上穿设有从所述设备室延伸到所述镀膜室的主轴，所述设备室内设置有转动驱动装置，所述主轴被配置为能在所述转动驱动装置的驱动下转动；

所述镀膜室内设置有上平移平台、上升降支撑柱、磁控靶组件、第一托盘、第二托盘、机械臂和多个下升降支撑柱，所述第一托盘和所述第二托盘被配置为能相互扣合并锁紧，所述第一托盘与所述主轴可拆卸连接并能随所述主轴转动，所述机械臂的尾端固定于所述镀膜室的侧壁，所述机械臂的首端被配置为能够抓起并移动所述第一托盘和所述第二托盘，所述下升降支撑柱设置在所述镀膜室的底部并被配置为能竖直伸缩；

所述磁控靶组件包括靶材箱和由所述靶材箱的底面伸出的多个靶材，所述靶材箱的顶部固定于所述上升降支撑柱，所述上升降支撑柱固定于所述上平移平台，所述上平移平台固定于所述镀膜室的顶部。

在优选的实施方式中，所述设备室设置有L型支撑架，所述L型支撑架包括水平段和竖直段，所述水平段固定于所述隔板，所述主轴可转动地穿设在所述竖直段上。

在优选的实施方式中，所述主轴在位于所述设备室内的一端具有配重环。

在优选的实施方式中，所述配重环同轴固定在所述主轴上，所述配重环的外周面设置有若干个标定片，所述竖直段上固定有光电传感器，所述光电传感器与所述标定片配合以检测所述主轴的转动角度。

在优选的实施方式中，所述机械臂包括多个顺次铰接的转动关节，相邻的所述转动关节之间的结合部设置有用于使相邻的所述转动关节能够相对转动的伺服电机；

位于尾端的所述转动关节与所述镀膜室的侧壁之间也设置有伺服电机，使位于尾端的所述转动关节能够相对于所述镀膜室转动。

在优选的实施方式中，所述第一托盘具有锁槽，所述锁槽包括连为一体的直槽段和沟槽段，所述主轴的端部外周面对称地设置有锁柱，所述锁柱从所述直槽段进入所述沟槽段时所述第一托盘与所述主轴可拆卸地连接在一起。

在优选的实施方式中，所述第一托盘的正面为凸起面，所述第二托盘的正面为凹陷面，所述第一托盘和所述第二托盘扣合在一起时，所述凸起面和所述凹陷面在外边缘处相互抵接；